MEMS帶通濾波器的設(shè)計研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、MEMS是通過微制造技術(shù)將微型執(zhí)行器、微型傳感器、微型機械元件、以及信號處理控制電路等在普通基底上集成。通過把硅微電子技術(shù)和機械技術(shù)結(jié)合到一起，該技術(shù)能對所有種類產(chǎn)品進行改革創(chuàng)新，使片上系統(tǒng)及片上制造實現(xiàn)新的發(fā)展。
　　 MEMS濾波器制作在與載體懸空的高阻薄膜上，與濾波器相關(guān)的介質(zhì)介電常數(shù)僅為1.04，其損耗極小，僅相當(dāng)于傳輸線的電阻損耗，帶內(nèi)抑制可達60dB，而插損僅為1dB，Q值可達800以上。
　　 本文著重介紹

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