工業(yè)用熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)的研制.pdf

1、熱式流量計(jì)以結(jié)構(gòu)簡單、可靠性好、成本較低等特點(diǎn)得到越來越多的應(yīng)用,在可以預(yù)見的未來,熱式流量計(jì)在流量計(jì)中的使用比例會(huì)進(jìn)一步提高。國內(nèi)流量計(jì)開發(fā)研究文獻(xiàn)報(bào)道較少。本文設(shè)計(jì)了兩種熱式氣體質(zhì)量流量計(jì):恒溫差式流量計(jì)和恒溫型流量計(jì),并對(duì)這兩種熱式流量計(jì)的開發(fā)過程進(jìn)行了詳盡的描述。
　　恒溫差式熱式氣體質(zhì)量流量計(jì),其流量傳感器采用鉑電阻Pt20和Pt1000作為測(cè)量元件,使加熱電阻Pt20的溫度比測(cè)溫電阻Pt1000的溫度恒定高出100℃。

2、根據(jù)探頭特點(diǎn),設(shè)計(jì)了流量計(jì)測(cè)量控制電路。經(jīng)過流量系統(tǒng)的標(biāo)定后,由探頭的輸出電壓計(jì)算出氣體的質(zhì)量流量。
　　恒溫型熱式氣體質(zhì)量流量計(jì),其流量傳感器采用CMOS工藝制作的半導(dǎo)體恒溫?zé)崽筋^,通電后其恒定在105℃,采用AD590作為溫度探頭。然后根據(jù)探頭的特點(diǎn),設(shè)計(jì)了流量計(jì)測(cè)量控制電路。該流量計(jì)結(jié)構(gòu)堅(jiān)固、耐沖擊、耐腐蝕、穩(wěn)定性好。
　　兩種流量計(jì)均采用均采用C8051F410單片機(jī)作為流量轉(zhuǎn)換器的主控微控制器。通過標(biāo)準(zhǔn)流量發(fā)生系統(tǒng)