激光位移傳感器及輸出特性的研究.pdf

1、基于三角法的激光位移傳感器的應(yīng)用領(lǐng)域極為廣泛，在質(zhì)量檢驗(yàn)、設(shè)備維護(hù)、流程和設(shè)備監(jiān)控、機(jī)械和生產(chǎn)自動(dòng)化以及研發(fā)等各個(gè)領(lǐng)域中，位移傳感器都為優(yōu)化產(chǎn)品和流程起到了決定性作用。但是目前國內(nèi)市場仍然沒有比較成熟的三角法激光位移傳感器產(chǎn)品問世，市場都被國外產(chǎn)品占據(jù)，而國外產(chǎn)品的價(jià)格非常昂貴，因此找出激光位移傳感器在輸出特性上與國外產(chǎn)品的差距，提出改進(jìn)方案是一項(xiàng)很有應(yīng)用價(jià)值的工作。
　　 本論文以三角測量法為測量原理，采用半導(dǎo)體激光器作為光源

2、，搭建了基于四象限探測器和基于線陣CCD探測器的兩套測量系統(tǒng)，對測量系統(tǒng)中各個(gè)部件的選取做了詳細(xì)分析，并從理論和實(shí)驗(yàn)上分析了引起系統(tǒng)測量誤差的各種因素以及消除或者減弱這些影響因素的方法。本文的主要工作如下：
　　 1.設(shè)計(jì)了基于四象限的激光位移傳感器，并對該傳感器進(jìn)行了調(diào)試和標(biāo)定。達(dá)到了預(yù)期的線性范圍。適用于小量程、高精度的測量。
　　 2.設(shè)計(jì)了基于線陣CCD的激光位移傳感器，并對該傳感器進(jìn)行了調(diào)試、標(biāo)定、測試。適用于