UHF頻段聲表面波諧振器及壓控振蕩器的研究.pdf

1、低相位噪聲聲表面波壓控振蕩器的實現(xiàn)主要依賴于低損耗、高 Q值的聲表面波諧振器和低噪聲振蕩器電路。經(jīng)過基片材料有效介電常數(shù)計算，電極材料選擇，反射柵反射系數(shù)計算，耦合模型建立，耦合模型參數(shù)提取，p矩陣迭加等步驟實現(xiàn)了諧振器的仿真設計，并通過實驗對仿真程序進行了驗證和改進。在仿真程序精度達到要求后，仿真分析了諧振器各個幾何結(jié)構(gòu)對性能的影響，分別設計了單端瑞利波諧振器、雙端瑞利波諧振器、表面橫波諧振器這三種諧振器結(jié)構(gòu)。
　　在對傳統(tǒng)光刻

2、工藝、苯處理lift-off工藝、反轉(zhuǎn)膠lift-off工藝進行實驗比較后，采用反轉(zhuǎn)膠 lift-off工藝實現(xiàn)了2.5μm、4μm線寬器件的制作。在測試過程中分析了聲波傳輸模式、吸聲膠、電極厚度、寄生參數(shù)等對器件的影響。最終實現(xiàn)了高Q值諧振器的研制，315MHz諧振器性能如下：單端SAWR插入損耗-1.745dB，有載Q值1368.9；雙端 SAWR插入損耗-12dB，有載 Q值8668.8； STWR插入損耗-12.6dB，有載Q值

3、為7028。
　　經(jīng)過對相位噪聲計算模型的分析，針對不同的聲表面波諧振器結(jié)構(gòu)，分別設計并仿真了Collpitz振蕩器電路和環(huán)形振蕩器電路，在完成電路的制作和調(diào)試后，分析了實際環(huán)境下的噪聲來源并對電路加以簡單改進，完成振蕩器電路制作。振蕩器性能如下：單端諧振器型壓控振蕩器工作頻率314.85MHz，相位噪聲-73.75 dBc/Hz@100Hz，-97.7 dBc/Hz@1KHz，二次諧波抑制13dB，輸出功率3.62dBm，調(diào)諧范