主動(dòng)隔振系統(tǒng)傳感器信號(hào)調(diào)理技術(shù)研究.pdf

1、主動(dòng)隔振技術(shù)較被動(dòng)隔振技術(shù)而言能獲得更大的隔振帶寬及更小的振動(dòng)傳遞率，主動(dòng)隔振器廣泛用于IC 制造設(shè)備和高精密測(cè)量設(shè)備，其隔振性能直接影響到這些設(shè)備的加工或測(cè)量精度。傳感器是主動(dòng)隔振系統(tǒng)的重要組成部分，影響振動(dòng)主動(dòng)控制的精度和帶寬。因此，研究主動(dòng)隔振系統(tǒng)傳感器信號(hào)調(diào)理技術(shù)有其特定的重要性及實(shí)用價(jià)值。
　　 本文分析了主動(dòng)隔振系統(tǒng)對(duì)傳感子系統(tǒng)的需求，對(duì)工程中廣泛使用的各類位移和速度傳感器的工作特性進(jìn)行了比較分析，確定了相關(guān)傳感器的

2、選型配置方案和關(guān)鍵技術(shù)指標(biāo)。
　　 建立了包含測(cè)量、放大、傳輸和串聯(lián)校正環(huán)節(jié)在內(nèi)的測(cè)振模型，分析了影響該類傳感器測(cè)振帶寬的因素，并對(duì)其低頻擴(kuò)展的方法及實(shí)現(xiàn)途徑進(jìn)行了探討，分析比較了各種方法的優(yōu)缺點(diǎn)，為最終選擇擴(kuò)展濾波作為絕對(duì)速度傳感器低頻擴(kuò)展實(shí)現(xiàn)方案提供了依據(jù)。
　　 基于測(cè)振模型及誤差理論分析了電氣噪聲對(duì)絕對(duì)速度傳感器低頻擴(kuò)展范圍的影響，得出了測(cè)量現(xiàn)場(chǎng)電氣噪聲水平與絕對(duì)速度傳感器低頻擴(kuò)展可獲得的極限頻率的函數(shù)表達(dá)式，為