2023年全國碩士研究生考試考研英語一試題真題(含答案詳解+作文范文)_第1頁
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文檔簡介

1、本文將研究RRAM的注意力集中在HfO2金屬氧化物材料上,因?yàn)槠浣M份簡單且制備工藝與目前的CMOS工藝相兼容。在基于HfO2材料的阻變存儲器中,我們從器件結(jié)構(gòu)等多個(gè)角度出發(fā)分析了提高器件性能的途徑。詳細(xì)介紹了實(shí)驗(yàn)制備過程,研究了不同電學(xué)測量方法和材料厚度對數(shù)據(jù)保持特性和穩(wěn)定特性的影響。主要開展了基于HfO2、TaOx/HfO2材料 RRAM器件電阻轉(zhuǎn)變特性以及電阻轉(zhuǎn)變機(jī)制方面的研究。研究內(nèi)容包括:
  ⑴為了進(jìn)一步提升Pt/HfO

2、2/Pt存儲器件性能,以獲得較高的均一性和較低電阻率,研究了不同電激活操作電壓下對制備的HfO2薄膜的電學(xué)性能的影響,結(jié)果發(fā)現(xiàn)在負(fù)向發(fā)orming電壓激活后HfO2薄膜的性能得到了較大提升,并且與理論基礎(chǔ)相符合。
 ?、芇t/TaOx/HfO2/Pt器件是一個(gè)多阻態(tài)存儲器,通過Retention性能測試證實(shí)該器件能夠穩(wěn)定的保持三個(gè)阻態(tài),所以該器件能夠很好的保存“0”、“1”和“2”三個(gè)存儲值。而且器件的高低電阻之比很大,每次阻態(tài)發(fā)

3、生跳變時(shí),高阻態(tài)電阻值(RHRS)和低阻態(tài)電阻值( RLRS)之比都在104倍左右,因此在電路中能夠很好的區(qū)分各存儲狀態(tài)。并且阻值跳變時(shí)的電壓相對集中,有利于用一個(gè)相對固定的電壓值對器件進(jìn)行讀和寫。我們認(rèn)為其阻變機(jī)制是由細(xì)絲效應(yīng)和SCLC效應(yīng)共同作用的。
  ⑶對Ti/HfOx/Pt器件的尺寸問題進(jìn)行了研究,分析了不同厚度的Ti電極對Ti/HfOx/Pt器件阻變性能的影響,我們認(rèn)為由于器件中氧離子與氧空位的移動(dòng),使器件中形成細(xì)絲而

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