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文檔簡(jiǎn)介
1、由于目前半導(dǎo)體制造工藝技術(shù)的限制，隨著半導(dǎo)體工藝向更小的節(jié)點(diǎn)發(fā)展，版圖上將出現(xiàn)越來(lái)越多的缺陷區(qū)域，而這些區(qū)域?qū)@著降低集成電路的產(chǎn)率與可靠性。這些有問(wèn)題的區(qū)域可被稱為版圖熱點(diǎn)。為了保持集成電路的產(chǎn)率與可靠性，版圖熱點(diǎn)需要被快速準(zhǔn)確的定位，并加以修正。本文將介紹一種基于字符串匹配的版圖熱點(diǎn)查找算法，以及對(duì)其功能和性能進(jìn)行的增強(qiáng)和優(yōu)化。
本文引入了范圍模式的概念來(lái)對(duì)版圖熱點(diǎn)進(jìn)行描述，且介紹了版圖矩陣、模式的切片形式、薄片、薄片片段
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