MEMS執(zhí)行器多場耦合分析.pdf

1、基于MEMS的多能域耦合特性，對MEMS執(zhí)行器進行多場耦合分析，研究MEMS執(zhí)行器在耦合場（如結(jié)構(gòu)、靜電和阻尼的耦合場）中的行為特性，為MEMS執(zhí)行器的設計和應用提供參考和指導。
　　首先探討MEMS執(zhí)行器多場耦合分析的方法，按照原理不同分為基于數(shù)學模型，基于宏建模，基于有限元法三種類型，闡述三類方法的原理，應用步驟和特點，為進行MEMS執(zhí)行器多場耦合分析奠定基礎。
　　以靜電驅(qū)動懸臂梁和靜電驅(qū)動梳齒作為典型的MEMS執(zhí)行器

2、進行多場耦合分析。對靜電驅(qū)動懸臂梁進行力學分析，吸合效應和氣體阻尼的理論分析和推導，應用等效法求解動態(tài)特性和吸合電壓，在COMSOL中進行靜電-結(jié)構(gòu)耦合分析，研究撓度與驅(qū)動電壓的關系和結(jié)構(gòu)對吸合電壓的影響。對靜電驅(qū)動梳齒進行電容和靜電力的理論推導，在COMSOL中進行靜電-結(jié)構(gòu)耦合分析，研究梳齒位移與驅(qū)動電壓的關系以及橫向驅(qū)動和縱向驅(qū)動的差異。
　　對應用引信環(huán)境力的MEMS執(zhí)行器進行多場耦合分析。設計了一種應用引信雙環(huán)境力（最大