偏振相移顯微干涉超精表面形貌測(cè)量研究.pdf

1、表面形貌是影響產(chǎn)品零部件功能特性的重要特征。隨著現(xiàn)代光學(xué)、光電子信息技術(shù)以及航空航天技術(shù)等的發(fā)展，表面形貌超精密測(cè)量與分析評(píng)價(jià)，面臨廣泛需求。本文提出了將偏振相移(Polarizied phase-shifting-PPS)技術(shù)與Michelson干涉顯微鏡相結(jié)合的偏振相移顯微干涉測(cè)量方法，以滿足超精密表面形貌測(cè)量，具有創(chuàng)新性和實(shí)用性。
　　 論文首先從工程實(shí)際應(yīng)用出發(fā)，分析了現(xiàn)有測(cè)量方法的諸多不足，提出了將偏振相移技術(shù)(PPS

2、)與Michelson干涉顯微鏡相結(jié)合的偏振相移顯微干涉測(cè)量方法，建立了偏振相移的理論分析模型。
　　 其次，設(shè)計(jì)了結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、高精度的偏振移相單元以及穩(wěn)定可靠的參考鏡位姿調(diào)整機(jī)構(gòu)，進(jìn)而研制出了基于偏振相移顯微干涉超精密表面形貌測(cè)量系統(tǒng)。
　　 第三，在VC++平臺(tái)上設(shè)計(jì)開發(fā)了與系統(tǒng)配套的，集圖像采集、數(shù)據(jù)處理、三維形貌顯示以及部分表面輪廓參數(shù)評(píng)定為一體的測(cè)量軟件。
　　 第四，對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)比對(duì)測(cè)試，驗(yàn)證了該系