紅外與太赫茲波衍射器件的設(shè)計與制作.pdf

1、隨著紅外與太赫茲波研究工作的深入開展,紅外與太赫茲波的應(yīng)用范圍在逐年擴大,衍射器件的研發(fā)已成為其中的一個重要研究方向,受到了廣泛關(guān)注和重視。本文基于衍射理論開發(fā)了用于紅外與太赫茲衍射器件的設(shè)計軟件,使用標(biāo)準(zhǔn)半導(dǎo)體工藝完成了多種器件的制作。紅外衍射器件主要用于形成復(fù)雜波前結(jié)構(gòu),太赫茲衍射器件主要用于形成多種圖形。
　　軟件在 Matlab環(huán)境下編寫和運行。采取模塊化方式編寫軟件,主要包括可視化界面生成模塊、默認參數(shù)設(shè)置模塊、相位計算

2、模塊、cif文件生成模塊?？梢暬缑嫔赡K包括軟件窗口生成,菜單及子菜單生成,結(jié)果顯示區(qū)域生成和按鈕生成。默認參數(shù)設(shè)置模塊保存預(yù)先設(shè)置在軟件中的參數(shù)值,在被調(diào)用時將這些值賦予給對應(yīng)參數(shù)。相位計算模塊依據(jù)瑞利索末菲或角譜衍射理論仿真衍射過程,通過蓋師貝格-撒克斯通算法(Gerchberg-Saxton Algorithm,簡寫為 GS算法)計算光場相位。cif文件生成模塊依據(jù)器件制作時所選取的腐蝕工藝,生成工藝制作必須的版圖文件。

3、>　　將軟件用于多種情況下的器件設(shè)計。依據(jù)具體要求,對軟件功能進行改進和擴展,如自動化計算、圖形生成模塊、文件讀寫模塊、成像效果測試模塊等功能模塊。提出相位分區(qū)計算的新方法,用于減少計算中的數(shù)據(jù)量,縮小生成文件,使工藝制作更易完成,精度更易控制。
　　使用標(biāo)準(zhǔn)半導(dǎo)體工藝完成器件的制作。工藝流程包括掩模版制作、生長保護層、光刻和腐蝕等。本文分別討論了濕法腐蝕與干法腐蝕的關(guān)鍵工藝流程,分析了它們對版圖文件的要求。結(jié)合工藝中的限制條件,