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文檔簡介
1、本文主要研究單晶爐勾形磁場及其勵磁電源的設(shè)計。采用有限元對8英寸單晶爐勾形磁場進(jìn)行建模、仿真,對勾形磁場的磁場強度、磁場分布以及影響磁場強度的線圈電流、線圈間距進(jìn)行了分析和優(yōu)化,得到磁場結(jié)構(gòu)的優(yōu)化設(shè)計參數(shù)。最后對磁場的優(yōu)化設(shè)計參數(shù)進(jìn)行了仿真驗證,結(jié)果表明:該優(yōu)化設(shè)計參數(shù)滿足晶體生長過程中對磁場提出的要求。
本文在移相全橋變換器主電路的基礎(chǔ)上,以TI公司的TMS320F2808DSP為核心控制芯片,設(shè)計了大功率勵磁電源的數(shù)字
2、控制系統(tǒng)。采用狀態(tài)空間平均法建立了勵磁電源系統(tǒng)的數(shù)學(xué)模型,設(shè)計了其電流閉環(huán)控制的PI參數(shù)。在此基礎(chǔ)上,采用DSP控制技術(shù),設(shè)計了勵磁電源的外圍控制系統(tǒng),包括采樣電路、IGBT驅(qū)動電路、開關(guān)量輸入輸出電路、數(shù)碼顯示電路、串口和CAN通信電路,軟件設(shè)計包括閉環(huán)、繼電邏輯、移相脈沖、濾波算法、數(shù)碼顯示和CAN通訊等。此外,還設(shè)計了上位機監(jiān)控系統(tǒng),實現(xiàn)遠(yuǎn)程控制、顯示、歷史數(shù)據(jù)保存、報警日志等,方便用戶進(jìn)行操作。
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