基于納結(jié)構(gòu)探測器的紅外氣體傳感器研究.pdf

1、近些年來工業(yè)生產(chǎn)和國防現(xiàn)代化對傳感器各方面性能指標(biāo)提出了越來越高的要求，高性能新型傳感器的研發(fā)受到人們越來越多的關(guān)注。當(dāng)今傳感器性能突破的重要研究方向主要在器件的結(jié)構(gòu)和材料兩個方面，納結(jié)構(gòu)探測器的研究尤其熱門。本論文的研究工作主要針對金屬鉑納米線紅外探測器的性能測試及其在紅外氣體傳感器上的應(yīng)用。在搭建測試系統(tǒng)基礎(chǔ)上，測量了鉑納米線紅外探測器的電阻溫度系數(shù)、熱導(dǎo)、熱響應(yīng)時間常數(shù)、歸一化探測率、噪聲電壓譜密度等參數(shù)，隨后依據(jù)非分光型紅外氣體

2、傳感器的設(shè)計思想，以鉑納米線紅外探測探測器作為傳感單元，設(shè)計了能夠檢測二氧化碳?xì)怏w濃度的紅外氣體傳感模塊，并對其可行性進(jìn)行了定性分析。
　　本文首先對紅外探測器原理、紅外氣體檢測原理以及國內(nèi)外氣體傳感器發(fā)展現(xiàn)狀做了簡要介紹，闡述課題研究的意義以及主要工作。第二部分則是對鉑納米線紅外探測器的性能進(jìn)行研究，測試了鉑納米線紅外探測器的熱學(xué)、光學(xué)、以及電學(xué)性能。第三、四部分是依據(jù)非分光型紅外氣體傳感器的設(shè)計思想，利用鉑納米線紅外探測單元設(shè)