低電壓高通量MEMS數(shù)字微流控芯片基礎(chǔ)理論及關(guān)鍵技術(shù)研究.pdf

1、以微型全分析芯片系統(tǒng)為基礎(chǔ)發(fā)展起來(lái)的“芯片實(shí)驗(yàn)室”技術(shù)是微型分析儀器發(fā)展的重要方向，基于電潤(rùn)濕技術(shù)的數(shù)字微流控芯片，以其靈活、快速、微量、結(jié)構(gòu)兼容好、易于自動(dòng)化控制等優(yōu)點(diǎn)，正以強(qiáng)勁的勢(shì)頭推動(dòng)著片上實(shí)驗(yàn)室技術(shù)的不斷發(fā)展。特別是在生化應(yīng)用領(lǐng)域的集成數(shù)字微流控芯片，已發(fā)展成為芯片技術(shù)中一個(gè)引人矚目的新興研究領(lǐng)域。
　　本碩士論文針對(duì)電潤(rùn)濕技術(shù)為核心的數(shù)字微流控芯片操作微流體存在的驅(qū)動(dòng)電壓較高、液滴操作動(dòng)力學(xué)飽和、驅(qū)動(dòng)模塊與傳感檢測(cè)系統(tǒng)單

2、片一體化等問題，提出了實(shí)現(xiàn)低電壓、高穩(wěn)定性和高通量的器件設(shè)計(jì)方案，并通過實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證了方案的可行性；探索建立了電潤(rùn)濕動(dòng)態(tài)飽和模型；探索了與數(shù)字微流控芯片集成的傳感技術(shù)與加工工藝方法，實(shí)現(xiàn)了芯片的驅(qū)動(dòng)模塊與傳感單元的集成。
　　本文工作主要如下：
　　（1）本文在查閱大量文獻(xiàn)、資料和總結(jié)前期研究工作的基礎(chǔ)上，系統(tǒng)地總結(jié)了數(shù)字微流控芯片的設(shè)計(jì)要點(diǎn)與評(píng)價(jià)方法，提出了電壓、高通量的芯片設(shè)計(jì)方案；
　?。?）利用MEMS加工技術(shù)完成