高溫壓力傳感器的特性測試技術(shù)研究.pdf

1、本文主要是對一個以硅壓阻式壓力傳感器為核心敏感元件、且具有特殊的隔熱、儲熱和傳壓結(jié)構(gòu)的高溫壓力傳感器進行特性測試技術(shù)的研究，根據(jù)傳感器的原理、實際測試的環(huán)境和目的不同，高溫壓力傳感器的測試技術(shù)及方法也不同。為了確保其壓力測試不失真，本文從靜態(tài)和動態(tài)兩方面分析其測試的方法，并完成測試及標定，最終獲得靜態(tài)和動態(tài)模型，得出高溫壓力傳感器的各項性能參數(shù)；為了確保傳感器在高溫環(huán)境下工作穩(wěn)定，且精度較高，本文通過與溫度傳感器及單片機技術(shù)相結(jié)合，設(shè)計

2、了傳感器的測試電路，降低了溫度對傳感器測試的干擾，完成了傳感器的高溫可靠性測試，實現(xiàn)了信號的準確采集。
　　高溫壓力傳感器動態(tài)測試方面，主要通過分析傳感器的動態(tài)測試技術(shù)及頻率特性，采用適合高頻壓力傳感器的動態(tài)測試法——激波管法，設(shè)計了傳感器的測試電路。根據(jù)輸出確定傳感器的頻率響應(yīng)特性及主要動態(tài)參數(shù)，最后采用FFT算法分析得出傳感器的頻率特性，也得出動態(tài)測試系統(tǒng)中傳壓管對其的影響。
　　高溫壓力傳感器靜態(tài)測試方面，主要通過理論

3、分析和應(yīng)用于高溫低氣壓環(huán)境，搭建了一個簡單可靠的壓力測試系統(tǒng)，通過試驗，得出傳感器測試量與標準壓力值間的關(guān)系，最后得出傳感器具有良好的靜態(tài)特性，及良好的線性度、穩(wěn)定度、重復(fù)性、遲滯性等。
　　高溫壓力傳感器的高溫可靠性測試方面，主要分析了溫度對傳感器工作穩(wěn)定性及測試精度的影響，根據(jù)實際應(yīng)用的情況，結(jié)合溫度傳感器與單片機技術(shù)，提出了壓力傳感器壓力溫漂值的彌補法，實現(xiàn)了高溫壓力傳感器的高溫可靠性測試，得出了溫度對其特性指標的影響，確保