有機(jī)絕緣層材料聚(4-乙烯基苯酚)(PVP)噴墨打印工藝研究及薄膜表征.pdf

1、近年來，有機(jī)薄膜晶體管在柔性大面積顯示以及電子標(biāo)簽領(lǐng)域受到廣泛的關(guān)注。噴墨打印技術(shù)是一種可直接圖案化沉積薄膜的工藝，能在柔性以及大面積襯底上實(shí)現(xiàn)高效圖案化加工。本課題的目標(biāo)是將二者結(jié)合起來，研制高性能全打印有機(jī)薄膜晶體管。鑒于有源層的保密要求，在此只論述絕緣層噴墨打印的研究。
　　本文的主要工作是用壓電噴墨打印的方式制備聚(4-乙烯基苯酚)(PVP)絕緣層，并分析影響薄膜電學(xué)性能的因素，主要內(nèi)容包括：
　　(1)首先我們用丙

2、二醇單甲醚乙酸酯(PGMEA)作為溶劑，配置了不同濃度的聚(4-乙烯基苯酚)(PVP)墨水，并對(duì)其印刷適性進(jìn)行分析，結(jié)果表明，濃度在4wt％～10wt％范圍內(nèi)的PVP溶液對(duì)DMP-3000打印機(jī)有良好的印刷適性。
　　(2)研究了PVP薄膜成膜形貌與墨水濃度、打印點(diǎn)間距以及打印次數(shù)的關(guān)系，結(jié)果表明采用雙層打印的方式能有效減輕咖啡環(huán)現(xiàn)象，提高薄膜表面均勻性。噴墨打印技術(shù)作為薄膜沉積工藝，可以得到厚度在200～1000nm范圍內(nèi)的均勻

3、絕緣膜。
　　(3)采用M-I-M結(jié)構(gòu)，研究了不同濃度PVP墨水以及不同打印次數(shù)對(duì)絕緣層電容特性的影響，測(cè)量數(shù)據(jù)表明：隨著墨水濃度的增加，電容減??；打印次數(shù)增加，絕緣層電容亦減小；并且打印薄膜的電容位于nF/cm2數(shù)量級(jí)，根據(jù)文獻(xiàn)報(bào)道，已基本可以滿足實(shí)用要求。
　　(4)研究了不同濃度PVP墨水以及不同打印次數(shù)對(duì)絕緣層漏電流特性的影響，漏電流測(cè)試表明：在0～40V的外加電壓下，PVP絕緣層的漏電流密度在10-11～10-8A