半超結(jié)快恢復(fù)功率二極管的工藝特性研究.pdf

1、半超結(jié)快恢復(fù)功率二極管是在超結(jié)快恢復(fù)功率二極管的基礎(chǔ)上加入底端輔助層來實(shí)現(xiàn)的。由于底端輔助層的加入，半超結(jié)二極管的反向恢復(fù)軟度因子和耐壓較超結(jié)二極管均相應(yīng)的提升，同時(shí)更好的減小了器件的導(dǎo)通電阻和反向恢復(fù)時(shí)間。底端輔助層的加入在提升了器件特性的情況下大大的減小了超結(jié)部分的工藝制作難度。半超結(jié)快恢復(fù)功率二極管的電學(xué)特性很大程度上取決于其工藝制作，因而，研究其工藝過程對(duì)于優(yōu)化器件結(jié)構(gòu)和性能有著很大的意義。
　　本文分析了半超結(jié)快恢復(fù)功率

2、二極管的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)和工作原理，重點(diǎn)研究其制作工藝，并用ISE-TCAD軟件對(duì)器件的制造工藝進(jìn)行了模擬仿真，通過優(yōu)化最終給出了半超結(jié)快恢復(fù)功率二極管的工藝參數(shù)和實(shí)施步驟方案。
　　首先，確定了半超結(jié)快恢復(fù)功率二極管的結(jié)構(gòu)尺寸和工藝參數(shù)，對(duì)器件的工藝參數(shù)進(jìn)行了理論分析，并主要分析了各個(gè)區(qū)域摻雜濃度和結(jié)構(gòu)尺寸對(duì)器件的動(dòng)態(tài)特性和靜態(tài)特性的影響。
　　其次，通過ISE-TCAD軟件對(duì)器件的制造工藝進(jìn)行了設(shè)計(jì)模擬，重點(diǎn)分析了超結(jié)部分制作工