多級(jí)三軸羅茨干泵設(shè)計(jì)方法的研究.pdf

1、近年來，受新興的大半導(dǎo)體行業(yè)的大規(guī)模發(fā)展，干泵迎來了前所未有的發(fā)展機(jī)遇。干泵應(yīng)用的領(lǐng)域在不斷的擴(kuò)大，抽氣工藝也越來越復(fù)雜，要求也越來越高。本文研究的多級(jí)三軸羅茨泵即為干泵的一種。這種泵抽速較二軸式羅茨泵有較大的提升，可直排大氣。
　　本文介紹了國(guó)內(nèi)外羅茨泵研究的最新進(jìn)展，對(duì)國(guó)外新推出的羅茨泵產(chǎn)品進(jìn)行了總結(jié)分析;詳細(xì)介紹了單級(jí)、多級(jí)三軸羅茨干泵的抽氣原理，推導(dǎo)了其理論抽速計(jì)算公式;計(jì)算了本論文設(shè)計(jì)的三軸羅茨干泵達(dá)到穩(wěn)態(tài)時(shí)各級(jí)的壓力，

2、所消耗的功率等重要設(shè)計(jì)參數(shù)，并與二軸式羅茨干泵進(jìn)行了比較;由潤(rùn)滑、密封、傳動(dòng)方式和轉(zhuǎn)動(dòng)等方面詳細(xì)介紹了多級(jí)三軸羅茨干泵采用的結(jié)構(gòu)，同時(shí)分析了三軸羅茨泵的降噪性能。
　　在羅茨泵的設(shè)計(jì)中，轉(zhuǎn)子型線十分重要。本文介紹了三軸羅茨泵所用四葉轉(zhuǎn)子的型線方程，即四葉圓弧型和漸開線型轉(zhuǎn)子型線方程，比較了兩種轉(zhuǎn)子的面積利用系數(shù);同時(shí)還與二軸式羅茨泵所用二葉轉(zhuǎn)子進(jìn)行了比較分析。
　　在羅茨泵轉(zhuǎn)子建模的過程中，由于型線方程較復(fù)雜，型線參數(shù)計(jì)算和

3、繪圖較繁瑣;而一旦設(shè)計(jì)修改，建模工作又需從頭來做。本文基于SolidWorks進(jìn)行二次開發(fā)，設(shè)計(jì)人機(jī)交流界面，采用參數(shù)化設(shè)計(jì)的方法，快速生成轉(zhuǎn)子。這樣做不僅大大節(jié)省設(shè)計(jì)時(shí)間，而且設(shè)計(jì)人員不必對(duì)轉(zhuǎn)子型線方程特別熟悉，只需要了解重要設(shè)計(jì)參數(shù)的意義即可。
　　羅茨泵轉(zhuǎn)子體高速旋轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)子間靠間隙密封來進(jìn)行排氣。為了保證本設(shè)計(jì)中泵的轉(zhuǎn)子體有足夠的強(qiáng)度和適宜的間隙值，本文基于ANSYS對(duì)穩(wěn)態(tài)下多級(jí)三軸與二軸羅茨干泵的轉(zhuǎn)子體進(jìn)行了結(jié)構(gòu)靜力分析與