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文檔簡介
1、本文主要的研究內(nèi)容為不同襯底上的碳納米管陣列的制備,結(jié)合掃描電子顯微鏡及拉曼光譜進(jìn)行樣品的表征。全文簡要地介紹了碳納米管及其拉曼光譜相關(guān)概念,研究了硅襯底和金屬襯底(304不銹鋼鋼和銅)上生長碳納米管的一系列問題。研究發(fā)現(xiàn),當(dāng)襯底為硅時,乙炔流量為30 sccm,氫氣流量為100 sccm比較適合碳納米管的生長,氣體流量同時擴大一倍時,生長出來的定向碳納米管陣列的管狀物曲線最平滑,定向性最好,密度最大,氨氣刻蝕工藝方面,100 sccm
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