飛秒激光直寫融石英光波導(dǎo)的工藝研究.pdf

1、近年來光通訊的快速發(fā)展推動(dòng)了集成光學(xué)的發(fā)展，作為集成光學(xué)的主要元件，光波導(dǎo)器件在信息的獲取、傳輸和處理上具有十分重要的應(yīng)用價(jià)值。光波導(dǎo)的加工屬于微納加工的范疇，目前，微納制造技術(shù)高速發(fā)展，與離子交換、離子注入和氣相淀積等其它成熟的制作工藝相比，飛秒激光加工可實(shí)現(xiàn)三維加工，被廣泛應(yīng)用于光學(xué)器件的加工中。目前光波導(dǎo)集成光路的發(fā)展還落后于光纖的發(fā)展，因此加大光波導(dǎo)器件的集成度研究，研發(fā)新的加工方法，優(yōu)化波導(dǎo)加工的工藝參數(shù)，提高其傳輸性能將有利

2、于推動(dòng)集成光學(xué)器件的進(jìn)一步發(fā)展。
　　論文首先理論分析了激光束腰半徑與瑞利長(zhǎng)度及透鏡數(shù)值孔徑的關(guān)系，使用300-350μm的狹縫對(duì)激光通過透鏡聚焦后的激光光斑進(jìn)行整形，搭建實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)利用CCD實(shí)現(xiàn)對(duì)激光聚焦光斑與加工深度的精確控制，研究了光波導(dǎo)損耗的類型和產(chǎn)生的機(jī)理，并分析了光波導(dǎo)傳輸損耗的幾種測(cè)量方法及其優(yōu)缺點(diǎn)，運(yùn)用MATLAB軟件編寫程序代碼，對(duì)聚焦后的光波導(dǎo)散射光圖像進(jìn)行處理，并計(jì)算出波導(dǎo)的傳輸損耗。
　　隨后研究了飛秒