表面等離子激元彎曲波導的仿真和設計.pdf

1、表面等離子激元波導具有突破光學衍射極限的特性，成為了集成光學領域極具發(fā)展?jié)摿Φ募晒鈱W器件組件。表面等離子激元波導的模擬仿真工作為研制高性能波導器件奠定了基礎。本文的主要工作是對表面等離子激元彎曲波導進行了仿真和設計，包括性能模擬、實驗制備和器件研究。
　　本文基于有限元法對表面等離子激元直波導進行了模擬仿真，掌握了關鍵參數(shù)對表面等離子激元波導性能的影響，獲得了優(yōu)化的直波導結(jié)構(gòu)，并研究了實驗中常用的直波導陣列結(jié)構(gòu)的模式光斑，為直波

2、導的實驗樣品制備提供了參考。在直波導模型的基礎上，用保角度變換的思想，對表面等離子激元彎曲波導進行了仿真，研究了其模式光斑和損耗 特性，優(yōu)化了其結(jié)構(gòu)參數(shù)，為基于表面等離子激元彎曲波導的器件研究打下了基礎。實驗上，以仿真結(jié)果為指導，設計了研表面等離子激元波導的結(jié)構(gòu)和工藝，制備出了表面等離子激元波導，成功實現(xiàn)了直波導的通光測試，并對波導的結(jié)構(gòu)尺寸、損耗特性進行了表征。此外，研究了表面等離子激元彎曲波導的應用，主要研究了一種新提出的基于表