氮化鋁蘭姆波MEMS諧振器在濾波器及傳感器方面的應用研究.pdf

1、本文介紹了氮化鋁蘭姆波MEMS諧振器以及基于該諧振器的帶通濾波器、傳感器的設計與制造。氮化鋁蘭姆波MEMS諧振器是一種新型壓電諧振器，其制造工藝與集成電路工藝兼容，且可實現(xiàn)多頻率器件的單片集成；其品質(zhì)因子較高，可應用于振蕩器、濾波器及傳感器的設計中，故其相關研究受到了廣泛關注。
　　本文首先介紹了氮化鋁蘭姆波諧振器的工作原理，對其設計和制造進行了深入研究。研究表明諧振器尺寸對其性能系數(shù)（FOM）有較大影響，諧振器的最優(yōu)設計尺寸可使

2、FOM達到最佳。基于該規(guī)律，本文設計制造了基于該諧振器的中頻窄帶濾波器，該濾波器表現(xiàn)出了較低的插入損耗和陡峭的滾降。
　　之后，本文繼續(xù)優(yōu)化了濾波器設計。通過結(jié)合電容電感網(wǎng)絡，濾波器實現(xiàn)了與50歐姆射頻系統(tǒng)的匹配；本文進一步將蘭姆波濾波器與電容集成，系統(tǒng)整體的面積進一步縮小，電路設計進一步簡化。
　　另外，本文還研究了蘭姆波諧振器作為傳感器的特征，尤其是其在液相環(huán)境下的表現(xiàn)。為減小液體對諧振器性能的削弱，本文將微流體技術與諧