基于工業(yè)以太網的PECVD系統(tǒng)的設計與開發(fā).pdf

1、國際市場上，基于工業(yè)以太網而開發(fā)和應用的針對高端大型設備的自動化控制系統(tǒng)越來越多，尤其是在大型醫(yī)療設備，大型太陽能生產設備，及各種大型工業(yè)控制系統(tǒng)（電力燃氣控制、電站機組控制等等）得到廣泛的應用。工業(yè)以太網作為他們的首選，加上西門子PLC具有相當完善的設計和非常穩(wěn)定的性能。對于企業(yè)，對于社會，研究PECVD設備及其軟件控制，主要是通過引進新技術和新的生產體系的建立，實現設備生產與控制的流程化、工程化。企業(yè)競爭力的體現主要是技術創(chuàng)新、服務

2、創(chuàng)新、企業(yè)內部產業(yè)結構調整與升級，使PECVD設備能在原有的基礎上得到更大的擴展與提升。
　　本文對PECVD系統(tǒng)的PLC程序的設計進行了詳細敘述。研究過程中完成控制電柜的電路圖設計，完成WinCC觸摸屏軟件的設計，完成系統(tǒng)各驅動器的參數設置及工業(yè)以太網設計，以及網絡圖繪制。著重分析了西門子PLC與PECVD中的Compax3伺服驅動器底層驅動程序編程與設計、PECVD設備系統(tǒng)的硬件配置與初始化、伺服電機保存參數程序設計、人機界面