直線(xiàn)導(dǎo)軌多自由度幾何誤差同時(shí)測(cè)量中誤差分析與補(bǔ)償方法的研究.pdf

1、直線(xiàn)導(dǎo)軌是機(jī)械制造業(yè)中，精密與超精密設(shè)備的關(guān)鍵部件。直線(xiàn)導(dǎo)軌的精確度將直接影響著設(shè)備的加工精度，對(duì)其精度進(jìn)行精密檢測(cè)尤為重要。傳統(tǒng)測(cè)量方法中的單參數(shù)測(cè)量費(fèi)時(shí)費(fèi)力，因此需對(duì)多自由度誤差同時(shí)測(cè)量進(jìn)行研究。而多自由度誤差同時(shí)測(cè)量中，各誤差項(xiàng)之間不可避免的存在誤差串?dāng)_，這對(duì)測(cè)量結(jié)果有著十分大的影響，也成為了多自由度誤差同時(shí)測(cè)量中亟待解決的重要問(wèn)題。
　　本論文研究了基于雙光束基準(zhǔn)的除位置誤差外的五自由度幾何誤差同時(shí)測(cè)量系統(tǒng)，本系統(tǒng)使用氦氖

2、激光器作為光源，各項(xiàng)誤差的測(cè)量敏感元件分別為角錐棱鏡與反射鏡，所選用的探測(cè)器為位置敏感探測(cè)器與四象限探測(cè)器。本文的重點(diǎn)工作為對(duì)該系統(tǒng)同時(shí)測(cè)量中產(chǎn)生的誤差串?dāng)_進(jìn)行了分析與補(bǔ)償。本系統(tǒng)中的誤差串?dāng)_包括偏擺角對(duì)水平方向直線(xiàn)度的串?dāng)_，俯仰角對(duì)豎直方向直線(xiàn)度的串?dāng)_，滾轉(zhuǎn)角對(duì)水平與豎直方向直線(xiàn)度的串?dāng)_，以及滾轉(zhuǎn)角真實(shí)值與其測(cè)量值之間的函數(shù)關(guān)系。上述誤差均可通過(guò)誤差補(bǔ)償模型進(jìn)行補(bǔ)償并將其消除，在未對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行更加復(fù)雜設(shè)計(jì)的條件下，大幅提高了系統(tǒng)的測(cè)量精