激光激勵(lì)的微結(jié)構(gòu)動(dòng)態(tài)特性測(cè)試技術(shù)研究.pdf

1、隨著MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）的廣泛應(yīng)用，對(duì)微結(jié)構(gòu)進(jìn)行動(dòng)態(tài)特性測(cè)試以獲取微結(jié)構(gòu)模態(tài)參數(shù)信息的需求逐漸增加。但由于現(xiàn)有的模態(tài)測(cè)試激勵(lì)方法無(wú)法滿足微小結(jié)構(gòu)的振動(dòng)激勵(lì)，所以迫切需要新的模態(tài)激勵(lì)方法以滿足對(duì)微結(jié)構(gòu)進(jìn)行激勵(lì)的需求。本文提出一種新的微結(jié)構(gòu)模態(tài)激勵(lì)方法——激光沖擊激勵(lì)方法，即利用激光與靶材相互作用時(shí)的沖擊力作為激勵(lì)源，實(shí)現(xiàn)對(duì)被測(cè)結(jié)構(gòu)的激勵(lì)。這種方法具有激勵(lì)時(shí)間極短，激勵(lì)脈寬很寬，非接觸式激勵(lì)，且對(duì)微結(jié)構(gòu)的特性影響較少等優(yōu)點(diǎn)，是一種很好的微

2、結(jié)構(gòu)激勵(lì)方法，具有廣泛的應(yīng)用前景。
　　本文首先對(duì)激光沖擊激勵(lì)的產(chǎn)生機(jī)理進(jìn)行了研究，包括對(duì)激光沖擊力的形成過(guò)程、相互作用過(guò)程中的能量轉(zhuǎn)換機(jī)制以及激光沖擊力的特點(diǎn)進(jìn)行了深入的研究。同時(shí)也對(duì)激光激勵(lì)測(cè)試系統(tǒng)進(jìn)行了詳細(xì)的介紹，包括測(cè)試系統(tǒng)方案設(shè)計(jì)，實(shí)驗(yàn)裝置選擇及實(shí)驗(yàn)流程等。
　　然后，搭建實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)并對(duì)懸臂梁進(jìn)行激光激勵(lì)實(shí)驗(yàn)。首先研究不同激光能量對(duì)激光激勵(lì)結(jié)果的影響，然后使用Cu懸臂梁進(jìn)行激光激勵(lì)實(shí)驗(yàn)，對(duì)實(shí)驗(yàn)結(jié)果進(jìn)行FFT頻譜分析，