版權(quán)說明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請進(jìn)行舉報或認(rèn)領(lǐng)
文檔簡介
1、微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS,Micro-Electro-Mechanical Systems),是在微電子技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展而來,集傳感、信息處理和執(zhí)行為一體的集成微系統(tǒng)。薄膜是MEMS技術(shù)中應(yīng)用最廣泛的材料形態(tài),構(gòu)成了MEMS器件中眾多的微機(jī)械結(jié)構(gòu)。薄膜材料的力學(xué)特性,例如殘余應(yīng)力、楊氏模量、泊松比等,是決定微結(jié)構(gòu)、特別是可動微結(jié)構(gòu)性能的重要因素,也是進(jìn)行微系統(tǒng)設(shè)計的重要參數(shù)。由于尺寸效應(yīng)以及制作工藝的限制,MEMS中薄膜材料的力學(xué)特性與體
2、材料相比有很大差別,并且相同的薄膜材料在不同的生長工藝或者環(huán)境下,其材料性能也會有很大差異,這決定了我們需要采用不同于傳統(tǒng)的宏觀力學(xué)分析與測試方法的新技術(shù),研究薄膜力學(xué)參數(shù)具有重要的意義。
本文的研究內(nèi)容為MEMS多層薄膜力學(xué)特性的研究和測試結(jié)構(gòu)設(shè)計,針對實際存在的多層薄膜結(jié)構(gòu),建立理論模型分析其力學(xué)特性的表征,以及力學(xué)參數(shù)的提取方法。主要的研究工作和取得的成果如下:
1.本文建立多層薄膜曲率半徑模型,利用有限元分析
3、軟件驗證了模型的可行性。在此基礎(chǔ)上,探究了薄膜厚度與曲率半徑的依賴關(guān)系,以此對實際中薄膜厚度的設(shè)計給出指導(dǎo)。針對模型在大寬度條件下出現(xiàn)的誤差給出修正公式,并用仿真軟件驗證。
2.本文對靜電驅(qū)動的多層薄膜進(jìn)行了研究,提出了多層靜電橫拉結(jié)構(gòu)提取等效彎曲剛度的模型,利用不同厚度的結(jié)構(gòu)計算各層材料楊氏模量,同時,針對結(jié)構(gòu)參數(shù)對理論誤差的影響進(jìn)行了分析,用有限元軟件仿真驗證了模型的可行性。
3.針對提出的模型設(shè)計了合理的測試結(jié)
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無特殊說明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁內(nèi)容里面會有圖紙預(yù)覽,若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
- 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
- 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間,僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理,對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
- 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容,請與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
最新文檔
- CMOS MEMS多層薄膜材料力學(xué)特性在線測試方法研究.pdf
- MEMS薄膜材料力學(xué)參數(shù)測試結(jié)構(gòu)研究.pdf
- PDC變徑鉆頭力學(xué)特性及結(jié)構(gòu)設(shè)計.pdf
- 多層結(jié)構(gòu)設(shè)計對Si摻雜DLC多層薄膜機(jī)械性能的影響.pdf
- PECVD氮化硅薄膜性能研究及熱學(xué)測試結(jié)構(gòu)設(shè)計.pdf
- 多層鋼結(jié)構(gòu)模塊結(jié)構(gòu)設(shè)計與力學(xué)性能研究.pdf
- 論多層建筑結(jié)構(gòu)設(shè)計及剪力墻結(jié)構(gòu)設(shè)計
- 多層廠房結(jié)構(gòu)設(shè)計探析
- 多層PCB層疊結(jié)構(gòu)設(shè)計及分析.pdf
- TRT葉片拉金結(jié)構(gòu)設(shè)計及力學(xué)特性分析.pdf
- 多層框架結(jié)構(gòu)設(shè)計
- 精密液體靜壓主軸薄膜反饋節(jié)流器結(jié)構(gòu)設(shè)計及特性研究.pdf
- 二軸轉(zhuǎn)臺結(jié)構(gòu)設(shè)計及動力學(xué)特性分析.pdf
- 船舶輔機(jī)減振結(jié)構(gòu)設(shè)計及力學(xué)特性分析.pdf
- MoS2基多層薄膜結(jié)構(gòu)設(shè)計及其摩擦學(xué)性能研究.pdf
- 多層綜合樓結(jié)構(gòu)設(shè)計
- 多層框架結(jié)構(gòu)設(shè)計心得
- 多層工業(yè)廠房的結(jié)構(gòu)設(shè)計
- 淺談多層框架結(jié)構(gòu)設(shè)計
- ETFE充氣膜結(jié)構(gòu)設(shè)計方法與ETFE薄膜特性研究.pdf
評論
0/150
提交評論