線列結(jié)構(gòu)熱釋電探測器工藝及性能研究.pdf

1、基于熱釋電材料的熱釋電探測器是最近國內(nèi)外研究的重點，而基于鉭酸鋰材料的熱釋電寬光譜線列器件的制備技術還在摸索階段。室溫工作熱釋電探測器具有寬光譜響應、無波長選擇性、無需制冷、結(jié)構(gòu)簡單、價格低廉的特點，是當前寬光譜探測器的重要發(fā)展方向。
　　本研究熱釋電探測器的內(nèi)容著重在以下幾個方面進行：熱釋電探測器單元結(jié)構(gòu)設計與仿真，對比多種探測器單元結(jié)構(gòu)，建立探測單元結(jié)構(gòu)立體模型、進行探測單元結(jié)構(gòu)的仿真，并對這些仿真結(jié)果進行分析和討論；開展了鉭

2、酸鋰晶體材料減薄工藝研究，使用了化學機械拋光方法和反應離子刻蝕方法?；瘜W機械拋光法方面研究了溫度、氧化劑和PH值對鉭酸鋰腐蝕速度的影響，對化學機械拋光的穩(wěn)定劑的選擇也做了說明。反應離子刻蝕方面使用氯氣進行刻蝕獲得了性能更優(yōu)、表面更加平整的鉭酸鋰晶體薄片；同時因為鉭酸鋰晶片對太赫茲波吸收微弱，需要進行太赫茲吸收層制備，展開了碳納米管吸收層薄膜的制備，制備過程中將碳納米管環(huán)氧樹脂材料更換為碳納米管聚氨酯材料，解決了碳納米管環(huán)氧樹脂制備過程中

3、遇到的工藝問題。改進了碳納米管薄膜表面的平整度，并對薄膜的吸收率進行了測試。按照優(yōu)化的探測單元結(jié)構(gòu)，基于光刻方法將線條晶體劃分成32×1的線列探測器敏感元的方法完成了線列版圖的設計，制備探測器頂層吸收層達到了增加探測性能的目標，并且對線列陣列制備工藝進行了研究，完成了線列探測器件的制備。最后進行了探測器性能的測試，通過線列讀出電路及信號采集電路軟件進行了探測器的測試。采用高功率太赫茲激光器作為輻射源，對制備的線列器件的噪聲與響應特性進行