微波等離子體光源高效率射頻功率放大器研究.pdf

1、為適應當今能源短缺，倡導高效節(jié)能的現(xiàn)狀，人們對于綠色、節(jié)能、高效率的新型微波等離子體光源(LEP)的研究日趨活躍。本文課題在第一代微波等離子體光源研究基礎上，利用現(xiàn)在高速發(fā)展的微波固態(tài)電路替代真空器件作為驅動源，解決第一代微波等離子體光源諸多缺點，實現(xiàn)可用于工程應用的新型微波光源。重點研究新型微波等離子體光源射頻模塊中功率放大器的設計，針對高效率、大功率的實現(xiàn)做大量研究分析，最終實現(xiàn)高效率的大功率功放設計。文章主要研究內容分為四部分。<

2、br>　　文中首先通過介紹課題研究背景，對研究對象設計方法與功率器件的發(fā)展現(xiàn)狀做詳細介紹。其次，對功率放大器的基本類型、技術指標、研究設計方法進行理論分析研究，文中詳細闡述功率放大器中負載牽引方法以及非線性方法，重點對如何實現(xiàn)高效率和 F類功率放大器進行理論分析。再次，分析微波等離子體光源設計目標，以LDMOS功率管作為設計基礎，利用ADS仿真軟件對Freescale公司大功率功率管MRF6V4300N進行仿真研究，并制作、調試出實物實

3、現(xiàn)250W大功率、60％以上高效率的功率放大器。文章對設計過程做詳細分析并對調試中注意事項以及所遇問題的解決方法進行闡述。然后，文中針對如何提高效率做仿真研究，利用MRF6V4300管加入諧波控制設計，實現(xiàn)200W輸出功率、74%效率的F類功率放大器。最后，對論文過程中所存在的不足之處進行總結分析，并對不足之處提出改進意見。同時，針對微波等離子體光源射頻模塊的設計，給未完成的工作指出方向與可借鑒的方案。
　　本文研究方案可行性大，