液滴噴射靶的檢測和分析系統(tǒng).pdf

1、為了制造出集成度更高的芯片，下一代光刻技術(shù)要求更短波長的極紫外（EUV）光源，激光等離子體（LPP）技術(shù)目前被認為是最可能的選擇。在研究和制備激光等離子體極紫外光源時，得到良好的錫液滴靶是其中重要的一步。錫液滴靶是通過振動對射流進行擾動，使錫流連續(xù)均勻斷裂得到的。本論文實驗?zāi)康脑谟诶盟鳛榘胁哪M錫液滴噴射的產(chǎn)生、控制和檢測，檢驗出整個噴射靶發(fā)生器和檢測分析系統(tǒng)的實際可行性，從而為將來產(chǎn)生實用的錫液滴靶打下基礎(chǔ)。
　　本論文的主

2、要研究了一套用于激光等離子體極紫外光源的液滴噴射靶發(fā)生器和液滴檢測分析系統(tǒng)。液滴噴射靶發(fā)生裝置穩(wěn)定可靠，操作方便，噴射出的液滴能夠均勻穩(wěn)定斷裂。利用 LabVIEW軟件調(diào)用和控制 CCD攝像頭，通過調(diào)用動態(tài)鏈接庫使CCD完成液滴圖像的采集和顯示，實時監(jiān)測液滴的運動情況，再完成圖像的批量存儲。保存的液滴圖像將由 MATLAB軟件進行分析計算，得到液滴尺寸、位置、間距等參數(shù)，可以定量地評估液滴噴射的質(zhì)量和穩(wěn)定性。實驗比較了幾種類型噴嘴的噴射