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文檔簡介
1、電子科技大學UNIVERSITYOFELECTRONICSCIENCETECHNOLOGYOFCHINA碩士學位論文MASTERTHESIS論文題目集成集成(BTi)nTaN反應多層膜反應多層膜點火橋的制備及性能研究點火橋的制備及性能研究學科專業(yè)材料科學與工程材料科學與工程學號201121034024作者姓名蔡賢耀蔡賢耀指導教師蔣洪川蔣洪川教授教授FABRICATIONPERFMANCESOFINTEGRATED(BTi)nTaNREA
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