基于模糊綜合評(píng)價(jià)的藍(lán)寶石掏棒加工參數(shù)優(yōu)化.pdf

1、藍(lán)寶石由于其優(yōu)良的物理特性和化學(xué)穩(wěn)定性在半導(dǎo)體、國(guó)防科技、民用航天等行業(yè)運(yùn)用廣泛。目前在LED襯底材料的使用上，藍(lán)寶石晶片占到了主導(dǎo)地位，且使用量逐年遞增。因此，如何高效的加工出優(yōu)質(zhì)藍(lán)寶石材料成為了企業(yè)面臨的巨大挑戰(zhàn)。藍(lán)寶石晶片由晶棒通過切片加工得到，所以掏棒加工的效率和晶棒的質(zhì)量對(duì)藍(lán)寶石行業(yè)發(fā)展有著非常大的影響。本文主要針對(duì)藍(lán)寶石掏棒加工效率低，成品質(zhì)量不一的問題提出了一種解決思路：通過對(duì)藍(lán)寶石掏棒加工參數(shù)的分析和優(yōu)化來提高加工效率。

2、本文主要研究?jī)?nèi)容如下。
　　首先，目前國(guó)內(nèi)少有藍(lán)寶石掏棒加工專用機(jī)床，大多企業(yè)還是采用普通鉆床進(jìn)行加工。本文提出了一種利用普通鉆床改造成藍(lán)寶石掏棒機(jī)的方法。以Z5150A型立式鉆床為基礎(chǔ)，改造主軸箱和工作臺(tái)為伺服電機(jī)控制，保證加工時(shí)進(jìn)給量有更多的參數(shù)選擇，為后面的參數(shù)優(yōu)化提供基礎(chǔ)。完成改造后對(duì)掏棒機(jī)進(jìn)行有限元靜力學(xué)和模態(tài)分析，確保其可以順利完成掏棒加工。
　　其次，設(shè)計(jì)藍(lán)寶石加工參數(shù)各個(gè)水平搭配的正交實(shí)驗(yàn)。加工參數(shù)由加工經(jīng)驗(yàn)

3、和工廠現(xiàn)實(shí)情況提出。完成實(shí)驗(yàn)，對(duì)實(shí)驗(yàn)結(jié)果進(jìn)行統(tǒng)計(jì)學(xué)里的極差、方差分析得出初步的優(yōu)化參數(shù)組合，并根據(jù)此組合完成單因素加工實(shí)驗(yàn)得到加工結(jié)果。由于方差分析的結(jié)果僅局限在已完成的幾組實(shí)驗(yàn)中，有指導(dǎo)意義但不全面，所以還需要更加全面的分析。
　　再次，以模糊隸屬度理論為基礎(chǔ)，運(yùn)用模糊綜合評(píng)價(jià)法對(duì)正交實(shí)驗(yàn)結(jié)果進(jìn)行全面分析，得出最終的優(yōu)化結(jié)果。對(duì)優(yōu)化結(jié)果進(jìn)行實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證，驗(yàn)證參數(shù)優(yōu)化的正確性。
　　最后，通過以上的分析和優(yōu)化得到最優(yōu)的加工參數(shù)組