液晶顯示屏檢測(cè)儀器氣浮支承系統(tǒng)設(shè)計(jì)研究.pdf

1、基于氣體潤(rùn)滑理論構(gòu)建的非接觸氣浮傳輸系統(tǒng)具有精度高，摩擦小，對(duì)被測(cè)工件無(wú)接觸損傷等優(yōu)點(diǎn)，是液晶平板顯示屏自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)儀器的核心部件之一。
　　本文主要針對(duì)液晶平板顯示屏自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)儀器氣浮傳輸系統(tǒng)中支承氣膜的性能進(jìn)行研究，進(jìn)而對(duì)其主要部件靜壓氣浮板的結(jié)構(gòu)進(jìn)行優(yōu)化設(shè)計(jì)。在全面比較小孔、毛細(xì)管、多孔質(zhì)等多種節(jié)流器節(jié)流效果的基礎(chǔ)上，結(jié)合液晶顯示屏大、輕、薄的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)，設(shè)計(jì)了毛細(xì)管節(jié)流方案，并構(gòu)建了毛細(xì)管節(jié)流單元的結(jié)構(gòu)模型，對(duì)單元模型中氣

2、體流動(dòng)的過(guò)程進(jìn)行了理論分析，得到了模型參數(shù)與氣膜承載力、質(zhì)量流量等的函數(shù)關(guān)系。借助FLUENT軟件包，選擇層流模型，對(duì)氣浮支承單元的流場(chǎng)進(jìn)行了數(shù)值仿真;基于控制變量法，詳細(xì)研究了毛細(xì)管半徑、氣膜厚度、供氣壓力等模型參數(shù)對(duì)支承氣膜壓力、速度分布，質(zhì)量流量，平均承載力的影響，據(jù)此對(duì)氣浮支承單元模型進(jìn)行了優(yōu)化;對(duì)氣浮板支承流場(chǎng)進(jìn)行了三維建模，通過(guò)仿真比較了通孔陣列不同排布下支承氣膜的性能，得出了通孔的最佳排布模式。在理論研究和仿真分析基礎(chǔ)上，