超光滑表面的積分散射測量儀器研究.pdf

1、激光陀螺反射鏡基片的表面質(zhì)量，影響著激光陀螺的閉鎖閾值，決定了激光陀螺的精度。隨著生產(chǎn)規(guī)模的擴大，人工檢測方法暴露出隨機性大、效率低等問題，研制出針對激光陀螺反射鏡表面缺陷的快速檢測、定位儀器很有必要。
　　論文根據(jù)積分散射測量原理對超光滑反射鏡基片表面缺陷檢測進行了原理實驗，對實驗中出現(xiàn)的光源功率波動、雜散光干擾和散射光方向性等關(guān)鍵問題進行了研究，對工程化樣機中的關(guān)鍵部件根據(jù)研究結(jié)果進行了軟硬件的重新設(shè)計，并完成了樣機的裝調(diào)和初

2、步測試。
　　為解決光源功率波動的影響問題，研究了光源的穩(wěn)定性和不同導(dǎo)光方式的優(yōu)缺點，設(shè)計了專用斬波器，完成了儀器導(dǎo)光光路設(shè)計。為解決雜散光對測試的干擾問題，利用FRED軟件對測試光路進行了建模分析，研究了不同入射位置下樣品的雜散光表現(xiàn)，設(shè)計了共焦聚焦鏡組，通過仿真實驗驗證了鏡組雜散光屏蔽的有效性，光路雜散光系數(shù)優(yōu)于0.01。為解決散射光的方向性及缺陷定位需求問題，研究分析了不同組合方案和掃描流程的優(yōu)劣，優(yōu)化了多角度掃描測試的測試