激光器波長測量裝置研究.pdf

1、激光干涉技術是重要的測量技術，廣泛應用于尺寸、形位和表面形貌測量。在這些測量中，激光波長均作為測量基準，其穩(wěn)定性、準確性對儀器的精度具有很大的影響。然而，由于環(huán)境條件和驅(qū)動電源波動的影響，激光器波長變化不可避免。因此，為保證儀器的測量精度和穩(wěn)定性，激光器波長的實時測量校準是必要的。本文基于光柵衍射原理，開發(fā)一種激光器波長測量裝置，主要研究內(nèi)容與成果包括：
　　1、研究分析了四象限光電探測器(QD)光斑中心定位原理，提出了基于光柵衍

2、射原理結(jié)合雙四象限光電探測器進行光斑中心定位的波長測量原理，設計了測量系統(tǒng)架構，構建了測量裝置。
　　2、設計了四象限光電探測器信號處理電路，包括探測器前置放大電路和光斑中心計算電路。其中，前置放大電路將光電單元電流信號轉(zhuǎn)換為電壓信號，光斑中心計算電路將四路電壓信號轉(zhuǎn)換為帶有光斑中心信息的電壓信號，通過PCI采集卡輸入計算機進行處理。
　　3、建立了均勻分布和高斯分布兩種激光光斑模型，采用Matlab仿真，得到了四象限探測器