Ni基合金襯底上ScAlN薄膜的制備與研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、電子科技大學碩士學位論文I電子科技大學UNIVERSITYOFELECTRONICSCIENCETECHNOLOGYOFCHINA專業(yè)學位碩士學位論文MASTERTHESISFPROFESSIONALDEGREE論文題目Ni基合金襯底上ScAlN薄膜的制備與研究專業(yè)學位類別工程工程碩士碩士學號201322030414作者姓名楊翼晞楊翼晞指導教師楊成韜楊成韜教授PREPARATIONRESEARCHOFScAlNFILMBASEDONSU

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