周期性介質(zhì)層結(jié)構(gòu)RF-MEMS開關(guān)設(shè)計.pdf

1、隨著通信技術(shù)的發(fā)展，傳統(tǒng)的開關(guān)不能滿足人們?nèi)找嬖鲩L的需求，此時，射頻微機電系統(tǒng)開關(guān)映入人們的眼簾，RF-MEMS開關(guān)相對于傳統(tǒng)開關(guān)的巨大優(yōu)勢，使人們認(rèn)識到進一步研究 RF-MEMS開關(guān)性能的必要性。但現(xiàn)有的RF-MEMS開關(guān)由于介質(zhì)層結(jié)構(gòu)單一，存在回波損耗較大、傳輸效率低等問題，阻礙了RF-MEMS開關(guān)的進一步發(fā)展。因此本論文基于周期性的介質(zhì)層結(jié)構(gòu)，設(shè)計了一種新型 RF-MEMS開關(guān)，該開關(guān)具有傳輸效率高等優(yōu)點，能夠滿足實際應(yīng)用的需要。

2、
　　本文首先介紹了RF-MEMS開關(guān)的基本原理，主要的技術(shù)指標(biāo)，并給出了周期性介質(zhì)層結(jié)構(gòu) RF-MEMS開關(guān)的主要制備流程。然后利用 CST軟件仿真分析射頻開關(guān)使用不同介質(zhì)層材料及不同結(jié)構(gòu)時，開關(guān)的信號傳輸效率。并對周期性介質(zhì)層結(jié)構(gòu) RF-MEMS開關(guān)主要性能參數(shù)進行建模，建立開啟時間及下落速度模型，運用 Matlab研究開關(guān)性能結(jié)構(gòu)參數(shù)對兩種模型的影響，最后建立一維集總電路模型，分析微波性能參數(shù)的影響因素。研究發(fā)現(xiàn)：基于周期性