基于SOI級(jí)聯(lián)雙環(huán)的耦合諧振腔誘導(dǎo)透明效應(yīng)的研究.pdf

1、隨著硅基光電子學(xué)的迅速的發(fā)展,應(yīng)用光信號(hào)代替電信號(hào)作為信息的載體越來越受到關(guān)注,而硅基光電子器件憑借其成本低、工藝兼容性好、微納光學(xué)特性良好等優(yōu)點(diǎn),是集成光學(xué)中最有潛力的材料平臺(tái),因此它成為了國(guó)內(nèi)外研究的熱點(diǎn)。而基于SOI的環(huán)形諧振腔結(jié)構(gòu)具有結(jié)構(gòu)微小、系統(tǒng)穩(wěn)定、相互干擾度低、品質(zhì)因數(shù)高等優(yōu)勢(shì),已經(jīng)成為硅基光子器件中重要的基礎(chǔ)原件,在很多領(lǐng)域都可以應(yīng)用。最近一種在光學(xué)諧振腔中實(shí)現(xiàn)類電磁誘導(dǎo)透明效應(yīng)成為研究熱點(diǎn),但大多數(shù)研究都是基于二氧化硅

2、微球諧振腔腔,玻璃微盤諧振腔,光纖諧振腔等,在硅基微環(huán)諧振腔上實(shí)現(xiàn)這種效應(yīng)的研究不多。
　　本文主要分析了諧振腔耦合誘導(dǎo)透明效應(yīng)的實(shí)現(xiàn)條件,參數(shù)控制,然后在SOI基片上利用高精度電子束光刻和感應(yīng)耦合等離子體刻蝕等工藝進(jìn)行了波導(dǎo)微環(huán)結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)加工,最后利用光柵垂直耦合的方式進(jìn)行了光纖與芯片的耦合對(duì)接,在并聯(lián)雙環(huán)諧振腔結(jié)構(gòu)中觀察到了誘導(dǎo)透明效應(yīng),并且分析了兩環(huán)間不同間距對(duì)類電磁誘導(dǎo)透明效應(yīng)的影響。工藝中單環(huán)Q值達(dá)到5.1×104,類電