全息瞄準(zhǔn)鏡相位型分劃板的理論及設(shè)計(jì)方法研究.pdf

1、本文研究了全息瞄準(zhǔn)鏡相位型分劃板的理論及設(shè)計(jì)方法，目的是設(shè)計(jì)具有浮雕結(jié)構(gòu)的純相位型衍射元件，以此實(shí)現(xiàn)傳統(tǒng)意義上的全息瞄準(zhǔn)分劃板的功能。
　　本文在研究全息瞄準(zhǔn)鏡工作原理及計(jì)算機(jī)制全息圖和衍射微光學(xué)理論的基礎(chǔ)上，對純相位型分劃板的成像理論進(jìn)行了分析，建立了衍射光場的數(shù)理模型，研究了分劃板表面相位結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)方法。在理論研究的基礎(chǔ)上，分別對瞄準(zhǔn)靶標(biāo)圖案及雪花圖案的衍射結(jié)構(gòu)進(jìn)行了設(shè)計(jì)，并結(jié)合光刻工藝的特點(diǎn)，對所設(shè)計(jì)的相位結(jié)構(gòu)進(jìn)行了二臺階和

2、四臺階的量化處理。利用MATLAB軟件編程進(jìn)行了再現(xiàn)像的仿真計(jì)算，并且根據(jù)設(shè)計(jì)結(jié)果完成了實(shí)驗(yàn)樣件的制作，開展了全息再現(xiàn)實(shí)驗(yàn)。
　　理論研究結(jié)果表明，在已知工作波長和記錄介質(zhì)折射率的情況下，通過控制記錄介質(zhì)表面微結(jié)構(gòu)的寬度和高度來調(diào)制光波，可以實(shí)現(xiàn)預(yù)期虛擬圖形的成像。采用相息圖式與計(jì)算全息圖式兩種不同方法設(shè)計(jì)的衍射結(jié)構(gòu)，最小特征尺寸分別為8μ與16μm。理論計(jì)算和仿真模擬再現(xiàn)像的結(jié)果表明，在未考慮加工誤差的情況下，所提供的這種相位型