大功率激光射頻電源高壓軟啟動(dòng)及燈絲控制研究.pdf

1、在制造行業(yè)和激光加工行業(yè)中高功率射頻板條CO2激光器是主要的加工設(shè)備。激光器的正常工作取決于電源是否穩(wěn)定。本論文主要旨在深入研究大功率射頻板條CO2激光器的射頻電源特性，設(shè)計(jì)出可供大功率電子管使用的穩(wěn)定電源，達(dá)到應(yīng)用水平。主要內(nèi)容包括：
　?。?）根據(jù)射頻電源的屏極高壓原理設(shè)計(jì)屏極高壓電路。屏極高壓電路主要是由線性濾波電路、升壓電路和整流電路等三部分電路組成。在升壓之前，加載軟啟動(dòng)電路，通過軟啟動(dòng)裝置控制升壓緩慢進(jìn)行，保障了電子管

2、能夠安全啟動(dòng)，防止電子管造成損害，對(duì)軟啟動(dòng)系統(tǒng)啟動(dòng)時(shí)序進(jìn)行分析，為后續(xù)設(shè)計(jì)做準(zhǔn)備。通過濾波電路、升壓電路和整流電路，可將三相工頻電壓整形為11kV直流高壓，為電子管屏極提供穩(wěn)定高壓輸入。
　?。?）設(shè)計(jì)軟啟動(dòng)系統(tǒng)。軟啟動(dòng)系統(tǒng)是直流高壓電路中至關(guān)重要的部分。它保障了高壓電路不會(huì)對(duì)電子管及周圍電路造成沖擊，減小對(duì)元器件的損害。軟啟動(dòng)系統(tǒng)設(shè)計(jì)包括了晶閘管調(diào)壓設(shè)計(jì)、觸發(fā)角控制和調(diào)節(jié)設(shè)計(jì)、同步信號(hào)檢測(cè)設(shè)計(jì)、觸發(fā)脈沖形成和隔離放大設(shè)計(jì)以及反饋

3、量的檢測(cè)。
　?。?）進(jìn)行軟啟動(dòng)系統(tǒng)上電實(shí)驗(yàn)，完成反饋電路電壓和電流實(shí)驗(yàn)，并分析實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)。為了保護(hù)電路的穩(wěn)定運(yùn)行，檢測(cè)電路中的故障，電路中增加了安全報(bào)警電路。對(duì)實(shí)驗(yàn)反映的問題進(jìn)行改進(jìn)，完善整個(gè)設(shè)計(jì)。
　?。?）設(shè)計(jì)高精度的燈絲穩(wěn)壓系統(tǒng)。燈絲穩(wěn)壓系統(tǒng)中燈絲陰極穩(wěn)壓電路是根據(jù)電子管燈絲有效值穩(wěn)壓的原理設(shè)計(jì)的。通過在燈絲變壓器次級(jí)加載穩(wěn)壓電路，調(diào)節(jié)可控硅控制端信號(hào)，得到0~380V交流輸出。該系統(tǒng)是通過控制比例積分電路輸出的給定信