平行光束干涉投影的微小零件形貌測(cè)量技術(shù).pdf

1、中圖分類(lèi)號(hào)：TH741論文編號(hào)：HBLG2016388UDC：密級(jí)：公開(kāi)碩士學(xué)位論文碩士學(xué)位論文平行光束干涉投影的微小零件形貌測(cè)量技術(shù)平行光束干涉投影的微小零件形貌測(cè)量技術(shù)作者姓名：王祎澤作者姓名：王祎澤學(xué)科名稱(chēng)：控制工程學(xué)科名稱(chēng)：控制工程研究方向：檢測(cè)技術(shù)及智能裝置研究方向：檢測(cè)技術(shù)及智能裝置學(xué)習(xí)單位：華北理工大學(xué)學(xué)習(xí)單位：華北理工大學(xué)學(xué)制學(xué)制:2.5年提交日期提交日期:2015年11月30日申請(qǐng)學(xué)位類(lèi)別：工程碩士申請(qǐng)學(xué)位類(lèi)別：工程碩

2、士導(dǎo)師姓名：張湧濤教授導(dǎo)師姓名：張湧濤教授單位：華北理工大學(xué)電氣工程學(xué)院?jiǎn)挝唬喝A北理工大學(xué)電氣工程學(xué)院薛貴軍高工薛貴軍高工單位：河北理工大學(xué)智能儀器廠單位：河北理工大學(xué)智能儀器廠論文評(píng)閱人：匿名論文評(píng)閱人：匿名單位：?jiǎn)挝唬耗涿涿麊挝唬簡(jiǎn)挝唬赫撐拇疝q日期：論文答辯日期：2016年01月13日答辯委員會(huì)主席：阮堃正高工答辯委員會(huì)主席：阮堃正高工關(guān)鍵詞：形貌測(cè)量；干涉條紋；光學(xué)相控陣；相位調(diào)制；移相精度關(guān)鍵詞：形貌測(cè)量；干涉條紋；光學(xué)相控陣

3、；相位調(diào)制；移相精度唐山華北理工大學(xué)唐山華北理工大學(xué)2016年3月ProfileMeasurementTechniquesofSmallPartsBasedonParallelBeamInterferenceProjectionDissertationSubmittedtoNthChinaUniversityofScienceTechnologyinpartialfulfillmentoftherequirementfthedegree