硅基多波長布拉格波導(dǎo)光柵陣列.pdf

1、隨著信息技術(shù)的發(fā)展，互聯(lián)網(wǎng)流量增長的速度令人驚嘆，同時(shí)也對數(shù)據(jù)傳輸速率帶來了更大的需求。因此，100 Gbps的以太網(wǎng)已經(jīng)被提出作為下一代標(biāo)準(zhǔn)化，而作為傳輸光源的多波長分布反饋（Distributed Feedback，簡稱：DFB）半導(dǎo)體激光器陣列也變得越來越重要。
　　為了克服“電子瓶頸”，全光通信和光互連已經(jīng)成為了科研機(jī)構(gòu)和工業(yè)界研究的熱門領(lǐng)域。硅基光電子器件因其低廉的價(jià)格以及與成熟的互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體(Complemen

2、tary Metal Oxide Semiconductor，簡稱：CMOS)工藝相兼容的優(yōu)點(diǎn)，成為了光電子器件研究的熱點(diǎn)?？蒲腥藛T已經(jīng)在絕緣襯底上的硅(Silicon-On-Insulatorr，簡稱：SOI)上實(shí)現(xiàn)了光開關(guān)、陣列波導(dǎo)光柵以及光波導(dǎo)調(diào)制器等一系列硅基光電子器件。然而由于硅材料本身間接帶隙的性質(zhì)導(dǎo)致其無法直接發(fā)光，因此人們通常采用硅材料和Ⅲ-Ⅴ族材料鍵合的方式來實(shí)現(xiàn)硅基光源。近年來科研學(xué)者已經(jīng)將硅基布拉格波導(dǎo)光柵成功地運(yùn)

3、用于集成光學(xué)的有源器件中，如DFB激光器、半導(dǎo)體光放大器和調(diào)制器等。硅基多波長布拉格波導(dǎo)光柵陣列是解決多波長硅基光源的重要方法。本文主要研究了硅基多波長布拉格波導(dǎo)光柵陣列。
　　（1）探索并開發(fā)了 DFB激光器的布拉格光柵制作工藝。利用電子束曝光（Electron Beam Lithography，簡稱：EBL）和感應(yīng)耦合等離子體（Inductively Coupled Plasma，簡稱：ICP）刻蝕工藝在Ⅲ-Ⅴ族外延片上制作了