ZnSe薄膜和GaAs體材料的壓力微分反射光譜.pdf_第1頁(yè)
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1、復(fù)旦大學(xué)碩士學(xué)位論文ZnSe薄膜和GaAs體材料的壓力微分反射光譜姓名:馬萬(wàn)里申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別:碩士專(zhuān)業(yè):凝聚態(tài)物理指導(dǎo)教師:戴寧;陳良堯2000.5.1D i f f e r e n t i a lr e f l e c t a n c es p e c t r o s c o p yo f Z n S e f i l ma n d G a A s b u l k u n d e re x t e r n a l l ya p p l i

2、 e ds t r e s sg r a d i e n tD e p a r t m e n t 髓¥s i £s M a j o r f i e l d C o n d e n s e d M a t t e r P h y s i c sN a m e _ W a n l i M a —A d v i s o r P r o f e s s o r N i n g D a i , L i a n g —y a o C h —e —

3、n —A b s t r a c t :M y g r a d u a t ew o r ki sm a i n l yi nt h em e a s u r e m e n t o f s e m i c o n d u c t o r ’Sm o d u l a t i o ns p e c t r o s c o p y ,i nw h i c hI c o n c e r nm o r ea b o u ts t r e s s

4、m o d u l a t i o ns p e c t r o s c o p y .T h es p e c i f i cw o r k i s :I d e v i s e d s e v e r a l d i f f e r e n t i a l m o d u l a t i o n m o d e l s a n d a p p l i e d t h e m i n t h ee x p e r i m e n t

5、s o f o u r l a b .M y i n v e s t i g a t i o n s u g g e s t s t h a t ,c o m b i n e d w i t h t h ea p p l i c a t i o no f af i e l dg r a d i e n t ,u s e f u l f o rt h ec h a r a c t e r i z a t i o nd i f f e r

6、e n t i a lr e f l e c t a n c e ( D R )o fs e m i c o n d u c t o r s .T h eD Rc a nb em a d e e x t r e m e l yt e c h n i q u es h o w sb e t t e rs e n s i t i v i t y t h a n D h o t o r e n e c t a n c eo n t h i n

7、 e p i l a y e r s .I t c a n p r o v i d eo n ew i t h r i c hi f l f o r m a t i o n a b o u t c r i t i c a I p o i n t e n e r g i e s ,t r a n s i t i o n e n e r g i e s b e t w e e ns u b b a n d s ,m a t e r i a

8、lc o n c e n t r a t i o n s ,e t c .I a l s od e v i s e dan e wm o d e lf o rs t r e s sm o d u l a t i o nw h i c hr e q u i r e sl i t t l e f o rt h ep r e p a r a t i o no f s a m p l e s .A n di t i s c o n v e n

9、i e n tt o u s et h es a m es a m p l eo n c em o r e .T h e r e a r e n o c o m p l i c a t e d e x p e r i m e n t p r o c e d u r e s o r r i g o r o u s r e q u i r e m e n t o fe n v i r o n m e n tc o n d i t i o n

10、 s .I m e a s u r e dt h e s t r e s s m o d u l a t i o ns p e c t r o s c o p yo fZ n S ef i l ma n dG a A s b u l k .A c o n c l u s i o nc a nb ed r a w n f r o m t h er e s u l t st h a ta p p l y i n gs t r e s so

11、ns a m p l e sm a ys t r o n g l ye n h a n c et h e D R s i g n a l ,l e a d i n gt ot h ei m p r o v e m e n ti ns e n s i t i v i t ya n d r e s o l u t i o n .K e y w o r d s : M o d u l a t i o nS p e c t r o s c o

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