駐極體轉(zhuǎn)速傳感器研究.pdf

1、隨著高速鐵路和城市鐵路的飛速發(fā)展，列車的測速定位問題日趨重要。轉(zhuǎn)速傳感器作為高速鐵路測速定位系統(tǒng)的核心部件必須能夠可靠、高效地工作。目前已有的光電式、磁電式轉(zhuǎn)速傳感器對環(huán)境要求很高，存在易受外界干擾、安裝工藝復(fù)雜、使用壽命短、頻率響應(yīng)差等問題。駐極體具有長期保持電荷的能力，使其在傳感器領(lǐng)域中有著廣泛的應(yīng)用。本文針對駐極體的特性和實際應(yīng)用的需要，對基于駐極體的轉(zhuǎn)速傳感器的制備工藝和器件進行了分析和研究，研究成果具有潛在的應(yīng)用價值。論文主要

2、工作如下:
　　1.研究了基于微機電系統(tǒng)(Micro-Electro-Mechanical System，MEMS)的駐極體轉(zhuǎn)速傳感器的制作工藝和測量原理，從而提出了一種基于二氧化硅(SiO2)/氮化硅(Si3N4)/二氧化硅(SiO2)三明治結(jié)構(gòu)的無機駐極體轉(zhuǎn)速傳感器，有望解決現(xiàn)有轉(zhuǎn)速傳感器壽命短、工藝復(fù)雜等問題。
　　2.在工藝方面，研究了SiO2/Si3N4/SiO2三明治結(jié)構(gòu)駐極體的工藝原理和工藝步驟，降低了轉(zhuǎn)速傳感

3、器的結(jié)構(gòu)設(shè)計和工藝復(fù)雜度，改善了已有器件難以集成和批量生產(chǎn)的問題，與未來傳感器微型化、集成化的發(fā)展趨勢一致。
　　3.對駐極體的駐極工藝進行了研究和測試，對比研究了幾種充電方式的原理及方法，并對駐極效果進行測試，測試結(jié)果表明隧穿充電后駐極體在惡劣環(huán)境中有良好的電荷保持能力。在器件應(yīng)用方面，利用駐極體保持電荷以及提供穩(wěn)定電場的特點，對駐極體轉(zhuǎn)速傳感器的工作原理進行了分析、仿真和測試，測試及分析結(jié)果顯示所設(shè)計制作的轉(zhuǎn)速傳感器能夠?qū)崿F(xiàn)對