hgt 4509-2013 工業(yè)高純氫氟酸

1、ICS7106030G11備案號(hào)：41827—2013HG中華人民共和國(guó)化工行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)HG／T4509—2013工業(yè)高純氫氟酸Highpurityhydrofluoricacidforindustrialuse2013—10—17發(fā)布201403—01實(shí)施中華人民共和國(guó)工業(yè)和信息化部發(fā)布工業(yè)高純氫氟酸HG／T45∞一20131范圍本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了工業(yè)高純氫氟酸的分級(jí)，要求，試驗(yàn)方法，檢驗(yàn)規(guī)則，標(biāo)志、標(biāo)簽，包裝、運(yùn)輸和貯存及安全。本標(biāo)準(zhǔn)適用于工

2、業(yè)高純氫氟酸。該產(chǎn)品主要應(yīng)用于太陽(yáng)能光伏電池、液晶顯示器件、集成電路和超大規(guī)模集成電路芯片的清洗、蝕刻，以及作為生產(chǎn)其他高純氟化物的原料等。2規(guī)范性引用文件下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，僅所注日期的版本適用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改單)適用于本文件。GB190危險(xiǎn)貨物包裝標(biāo)志GB／T1912008包裝儲(chǔ)運(yùn)圖示標(biāo)志GB／T6678化工產(chǎn)品采樣總則GB／T6680液體化工產(chǎn)品采

3、樣通則GB／T66822008分析實(shí)驗(yàn)室用水規(guī)格和試驗(yàn)方法GB／T8170數(shù)值修約規(guī)則與極限數(shù)值的表示和判定HG／T36961無(wú)機(jī)化工產(chǎn)品化學(xué)分析用標(biāo)準(zhǔn)溶液、制劑及制品的制備第1部分：標(biāo)準(zhǔn)滴定溶液的制備HG／T36962無(wú)機(jī)化工產(chǎn)品化學(xué)分析用標(biāo)準(zhǔn)溶液、制劑及制品的制備第2部分：雜質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)溶液的制備HG／T36963無(wú)機(jī)化工產(chǎn)品化學(xué)分析用標(biāo)準(zhǔn)溶液、制劑及制品的制備第3部分：制劑及制品的制備3分子式和相對(duì)分子質(zhì)量分子式；HF相對(duì)分子質(zhì)量：20

4、01(按2011年國(guó)際相對(duì)原子質(zhì)量)4分級(jí)工業(yè)高純氫氟酸按用途分為四個(gè)等級(jí)。EL級(jí)：主要用于太陽(yáng)能光伏電池及液晶顯示器件的制造，以及作為生產(chǎn)其他高純氟化物的原料UP級(jí)：主要用于線寬為08pm～12pm集成電路的清洗與蝕刻；uPs級(jí)：主要用于線寬為02pm～06pm集成電路的清洗與蝕刻；UP—SS級(jí)：主要用于線寬為009um～0，2pm集成電路的清洗與蝕刻。5要求51外觀：無(wú)色透明液體。52工業(yè)高純氫氟酸按本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定的試驗(yàn)方法檢測(cè)應(yīng)符合表