晶片雙面精密研磨機設(shè)計

1、晶片雙面精密研磨機設(shè)計晶片雙面精密研磨機設(shè)計摘要：本研磨機是一臺是能夠?qū)?英寸的晶片進行雙面精密研磨的機器，所加工的晶片是光電子領(lǐng)域使用的人工晶體基片(如藍寶石、水晶、硅、碳化硅等)。設(shè)計的主要任務(wù)是進行晶片雙面精密研磨機的總體設(shè)計、傳動系統(tǒng)設(shè)計和加載系統(tǒng)設(shè)計。加載方式采用氣缸加載，加載壓力的變化過程呈斜線式上升。在開始和結(jié)束時壓力都要盡量減小，從而降低了上研磨盤的振動對工件造成的不良影響。為了使研磨過程中晶片運動軌跡復(fù)雜化，晶片放在保

2、持架內(nèi)，保持架成為由中心齒輪和齒圈所構(gòu)成的差動輪系中的行星齒輪。使晶片的運動是行星運動和自轉(zhuǎn)運動的合成運動。通過改變中心軸和空心軸的運動參數(shù)，即可獲得不同的行星輪的運動軌跡。為使晶片研磨有較高的研磨效率，研磨盤表面加工有深3的十字形槽。此外，根據(jù)研磨機的工作原理，設(shè)計了它的控制系統(tǒng)。mm將氣動控制系統(tǒng)與電氣控制系統(tǒng)聯(lián)合控制，實現(xiàn)了研磨壓力的精確控制，且工作效率高，安全可靠。通過研究雙面研磨的加工機理，分析了雙面研磨的運動過程，并運用計算

3、機模擬了研磨運動軌跡，使研磨運動軌跡能達到研磨痕跡均勻并且不重疊。因此，加工后的晶體有很高的平面度，且兩端面有較高的平行度。關(guān)鍵詞：雙面研磨；研磨機設(shè)計；晶片；計算機仿真本設(shè)計設(shè)計來自：完美來自：完美畢業(yè)設(shè)計畢業(yè)設(shè)計網(wǎng)登陸網(wǎng)站網(wǎng)站聯(lián)系客服系客服遠程截程截圖或者或者遠程控程控觀看完整全套看完整全套論文圖紙設(shè)計圖紙設(shè)計客服客服QQ：8191040movementtrackscanachieveunifmityarenotthesame.Th

4、erefetheprocessedcrystalhasahighdegreeofplanarparallelonthetwosides.Keywds:DoublesidelappingLappingMachineWaferComputerSimulation目錄1前言??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????

5、?????????????????????????????????????????????12晶片雙面精密研磨機的總體設(shè)計???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????32.1制定晶片雙面精密研磨機的工藝分析????????????????????????????????????????????????????????

6、????????????????32.1.1單面研磨方式?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????32.1.2雙面研磨方式???????????????????????????????????????????????????????????????????????

7、??????????????????????????????????????32.1.3晶片雙面精密研磨機的工藝分析?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????42.2確定晶片雙面精密研磨機的總體結(jié)構(gòu)方案???????????????????????????????????????????????????????????????

8、??43晶片雙面精密研磨機的傳動系統(tǒng)設(shè)計???????????????????????????????????????????????????????????????????????????53.1傳動系統(tǒng)的選擇????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????53.2傳動

9、系統(tǒng)零件設(shè)計????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????53.2.1電動機的選擇??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????

10、???????????53.2.2帶傳動的設(shè)計計算?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????53.2.3減速器的選擇??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????

11、???????????????????????????83.2.4齒輪傳動的設(shè)計?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????83.2.5鏈傳動的選擇???????????????????????????????????????????????????????????????

12、??????????????????????????????????????????????83.2.6軸承的選擇???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????103.3傳動系統(tǒng)設(shè)計計算和校核????????????????????????????????????

13、??????????????????????????????????????????????????????103.3.1軸的設(shè)計計算和強度剛度校核???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????103.3.2齒輪的強度計算和校核??????????????????????????????????????????????????

14、??????????????????????????????????????????144晶片雙面精密研磨機的加載系統(tǒng)設(shè)計?????????????????????????????????????????????????????????????????????????184.1加載形式的選擇??????????????????????????????????????????????????????????????????????????

15、????????????????????????????????184.2加載系統(tǒng)零件設(shè)計??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????184.2.1氣缸的選擇?????????????????????????????????????????????????????????????

16、??????????????????????????????????????????????????184.2.2研磨盤的設(shè)計???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????184.2.3行星輪的設(shè)計?????????????????????????????????????

17、??????????????????????????????????????????????????????????????????????194.3加載系統(tǒng)有關(guān)計算和校核??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????204.3.1研究研磨壓力對研磨效果的影響???????????????????????

18、????????????????????????????????????????????????????205晶片雙面精密研磨機的控制系統(tǒng)設(shè)計?????????????????????????????????????????????????????????????????????????225.1氣動控制系統(tǒng)?????????????????????????????????????????????????????????????????

19、?????????????????????????????????????????????225.1.1氣動控制系統(tǒng)及工作原理????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????225.2電氣控制系統(tǒng)??????????????????????????????????????????????????????????

20、????????????????????????????????????????????????????236晶片雙面研磨運動過程分析及計算機仿真?????????????????????????????????????????????????????????????????266.1晶片雙面研磨的加工機理??????????????????????????????????????????????????????????????????

21、????????????????????????266.2研磨運動軌跡方程的建立??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????276.3apt???、、及w?四者關(guān)系的確定???????????????????????????????????????????????????????????????????