多晶鑄錠坩堝噴涂及裝料工藝[1]

1、坩堝噴涂與裝料坩堝噴涂與裝料一、坩堝一、坩堝噴涂噴涂1、噴涂目的、噴涂目的坩堝噴涂用純水把粉末噴料氮化硅（氮化硅分子式為Ｓi3Ｎ4，是一種重要的結構陶瓷材料。它是一種超硬物質，本身具有潤滑性，并且耐磨損；除氫氟酸外，它不與其他無機酸反應，抗腐蝕能力強，高溫時抗氧化。而且它還能抵抗冷沖擊，有空氣中加熱到1000℃以上，急劇冷卻再急劇加熱，也不會碎裂。）涂噴在坩堝表面，在加熱作用下，使液態(tài)氮化硅均勻的吸附坩堝表面，形成粉狀涂層，涂層目的是保

2、護石英坩堝在高溫下石英坩堝與硅隔離，使液態(tài)硅不與石英坩堝反應，而使石英坩堝破裂，及冷確后最終保證硅碇脫膜完整性。2、坩堝噴涂工藝簡介、坩堝噴涂工藝簡介坩堝噴涂是利用不同于其它噴涂技術和方法，坩堝噴涂是涂裝坩堝通過加熱使其液態(tài)混合物（氮化硅）迅速附著在坩堝表面。涂裝坩堝的方法可分為加熱噴涂與滾涂兩種方法涂覆工藝，滾涂涂裝其技術工藝簡單，涂裝涂層不均，時間長，氮化硅使用量大，成本高，所以公司現使用的是較先進工藝熱噴涂技術。加熱噴涂技術是將配

3、制好的硅液涂料用凈化的壓縮空氣進行噴涂，噴槍壓力為20psi~40psi，噴涂距離為25~30厘米，定位著落坩堝寬度為15~20厘米，在噴涂過程中一般一次噴涂厚度控制在小于0.01mm內，否則在加熱過程中易出現龜裂起泡針孔等，坩堝噴涂溫度在40℃~6５℃控制內噴涂完成后再進行熱處理，熱處理的目的是提高涂層結晶度，避免內應力引起的涂層脫落，從而提高涂層的韌性和附著力。再用百潔布沾純水來擦試坩堝表面打開電源①順時針旋轉45度，再順時針旋轉②