真空泵與閥門(mén)

1、真空泵：真空泵：一、一、概要：概要：真空泵是獲得真空的設(shè)備，根據(jù)自身極限真空的能力將真空泵分為低真空泵和高真空泵。表1.對(duì)常用真空泵進(jìn)行了分類歸納。表1.常用真空泵的分類：分類極限真空應(yīng)用卷泵（Scrollpump）7.5103TrCDSEM油回轉(zhuǎn)泵（Oilsealedrotarypump）7.5105TrIISP羅茨泵（rootsblowerrootspump）5105TrIISPDryCVD水環(huán)泵(waterringpump)510

2、3Tr－活塞泵(pistonpump)5103Tr－位移式隔膜泵(diaphragnpump)5103TrIIAnneal擴(kuò)散泵(diffusionpump)1108TrII噴射泵(ejectionpump)－－分子泵(turbomolecularpump)5109TrIISPDry氣體移動(dòng)式動(dòng)力式分子拖曳泵(moleculardragpump)－－吸氣泵(sptionpump)－－冷凍陷阱(coldtrap)－－冷凝泵(cryopum

3、p)5109TrIISPDry濺射離子泵(spuutterionpumpSIP)51010TrCD－SEM鈦升華泵(titaniumsublimationpump)－－真空泵氣體凝聚式非蒸發(fā)吸氣泵(nonevapablegetter)－－二、各類真空泵的特性二、各類真空泵的特性表2.各類真空泵的特性：是否有油真空泵類型是否需要支援泵入口出口形成問(wèn)題的氣體或蒸氣備注干式轉(zhuǎn)動(dòng)泵否否是可壓縮的粗抽泵油密封轉(zhuǎn)動(dòng)泵否是是需要?dú)怄?zhèn)通常用做粗抽支援羅

4、茨泵是否是壓縮比低有油污染，除非先除油擴(kuò)散泵是是是油污染最嚴(yán)重分子泵是否是分子拖曳泵是否是對(duì)H2和He低壓縮比高真空泵吸收泵否否無(wú)出口可燃?xì)怏w有爆炸的做干式粗抽（七）、冷泵(cryogenicpump)冷泵系統(tǒng)由壓縮機(jī)（compress）和冷泵（cryopump）二部分組成。內(nèi)部有一耐用的閉回路冷凍（refrigeration）單元，如圖（12）所示。工藝腔冷泵供氣電源壓縮機(jī)（a）（b）圖（12）冷泵的結(jié)構(gòu)及配置先利用壓縮機(jī)將氦氣（He

5、）壓縮，以熱交換方式除去其所產(chǎn)生的熱量。再使氦氣急速膨脹，并導(dǎo)入到冷泵內(nèi)，它吸收大量的熱，使泵內(nèi)調(diào)節(jié)板（baffle溫度降為80K（K:絕對(duì)溫度），而將水蒸氣凝聚。另一冷凍面板（Cryopanel）更降為15K。當(dāng)氣體分子和此面板接觸，即被陷住而凝聚。除氬、氦、氖外，所有氣體均液化為液體，蒸氣壓降至1010Tr以下。至于氬氦氖與低溫表面以范德瓦爾力（VanderWalsfce）吸收。冷泵上吸附冷聚的氣體，可以利用加熱一帶狀加熱器（bhe