光接收機(jī)前端電路測(cè)試技術(shù)研究.pdf

1、在整個(gè)集成電路產(chǎn)業(yè)鏈中，集成電路測(cè)試是重要的一環(huán)。因?yàn)榧词寡兄瞥龈咚降钠骷?、電路和系統(tǒng)，如果測(cè)試技術(shù)不成熟，那么測(cè)試結(jié)果的可靠性就不能得到保證?？梢哉f(shuō)，集成電路的測(cè)試技術(shù)直接決定著對(duì)被測(cè)器件、電路和系統(tǒng)特性的評(píng)價(jià)。 光接收機(jī)前置放大器的測(cè)試由于其超高速、超寬帶和電流源激勵(lì)的特點(diǎn)，是集成電路與系統(tǒng)測(cè)試領(lǐng)域最具有挑戰(zhàn)性的理論與實(shí)驗(yàn)性研究課題。本文研究利用現(xiàn)有儀器間接測(cè)量光接收機(jī)前置放大器相關(guān)技術(shù)參數(shù)來(lái)確定電路性能參數(shù)的理論與技術(shù)。

2、 在前置放大器等效電路模型基礎(chǔ)上，本文建立了跨阻增益與散射參數(shù)即S參數(shù)之間的關(guān)系，提出了通過(guò)測(cè)量前置放大器小信號(hào)S參數(shù)間接獲得跨阻增益和帶寬的方法，給出了在晶圓S參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)，分析了S 參數(shù)測(cè)試中的校準(zhǔn)技術(shù)和測(cè)試流程；建立了噪聲系數(shù)與等效輸入噪聲電流譜密度的關(guān)系，提出了通過(guò)測(cè)量光接收機(jī)前端電路噪聲系數(shù)間接獲得等效輸入噪聲電流譜密度的方法，給出了在晶圓噪聲系數(shù)測(cè)試系統(tǒng)；分析了噪聲系數(shù)測(cè)試中通過(guò)去嵌入提高測(cè)試的精確度方法；建立了前置

3、放大器在晶圓時(shí)域測(cè)試系統(tǒng)，提出了誤碼率測(cè)試和眼圖測(cè)試方法。 為了驗(yàn)證所提出的理論和方法，采用0.6μmCMOS工藝完成了SDH中最重要和最基本的傳輸模塊STM-1系統(tǒng)光接收機(jī)前置放大器的設(shè)計(jì)、流片制造、在晶圓測(cè)試和封裝測(cè)試。分析比較了相同增益帶寬下，高阻和互阻兩種結(jié)構(gòu)前置放大電路的噪聲性能，為155Mb/s前置放大電路提供了優(yōu)化設(shè)計(jì)方案。 在研究光接收機(jī)前端電路主要性能參數(shù)測(cè)試技術(shù)的同時(shí)，還開(kāi)展了高頻/高速集成電路測(cè)試技