基于DMD高分辨率激光直寫系統(tǒng)設(shè)計(jì)與實(shí)現(xiàn).pdf_第1頁(yè)
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1、目前，包括我國(guó)在內(nèi)的多個(gè)國(guó)家成功研制了不同結(jié)構(gòu)的激光直寫系統(tǒng)，應(yīng)用于如集成電路制造、微光學(xué)元件加工、MEMS、光學(xué)檢測(cè)、光學(xué)防偽等多個(gè)行業(yè)中，因此，激光直寫系統(tǒng)的研制工作備受關(guān)注。Holomaker-Ⅲ-B新型激光直寫系統(tǒng)在光學(xué)及機(jī)械結(jié)構(gòu)上已基本成形，本課題從實(shí)際應(yīng)用出發(fā)，旨在對(duì)系統(tǒng)的性能作詳細(xì)分析，在光路的硬件裝配、數(shù)據(jù)處理方案、控制軟件及應(yīng)用工藝上對(duì)該系統(tǒng)進(jìn)行全面的優(yōu)化設(shè)計(jì)和性能提升。 通過(guò)對(duì)激光直寫系統(tǒng)Holomaker-

2、Ⅲ-B光路的改裝，將DMD代替原來(lái)的方形光闌做為輸入空間光調(diào)制器，把數(shù)字反射鏡(Digital Micro-mirrot Device，DMD)上的圖像干涉成像在光刻膠板上，得到一個(gè)縮小倍率的、高質(zhì)量的任意干涉光斑圖形。此系統(tǒng)分辨率能夠達(dá)到6000DPI，能夠制作出高質(zhì)量的光變圖像，例女H2D圖像、2D/3D圖像、3D圖像以及各種精密的微刻圖像和文字，并給出了實(shí)驗(yàn)結(jié)果。 相對(duì)于傳統(tǒng)的逐點(diǎn)光刻的形式，Holomaker-Ⅲ-B系統(tǒng)

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