三維納米線簇SAW氣敏傳感器的設(shè)計(jì)與實(shí)現(xiàn).pdf_第1頁(yè)
已閱讀1頁(yè),還剩96頁(yè)未讀, 繼續(xù)免費(fèi)閱讀

下載本文檔

版權(quán)說明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請(qǐng)進(jìn)行舉報(bào)或認(rèn)領(lǐng)

文檔簡(jiǎn)介

1、聲表面波(SAW)傳感器是一類新型傳感器,和其它傳感器技術(shù)相比,SAW傳感器具有響應(yīng)速度快、靈敏度高、體積小等特點(diǎn)。三維納米線簇結(jié)構(gòu)傳感器具有非常高的比表面積,能夠顯著提高傳感器的靈敏度,是一種很有前途的新型氣體敏感材料。本論文將SAW技術(shù)和新型三維納米線簇敏感材料相結(jié)合,研制高靈敏度、高集成度、小體積、小重量和低成本的目標(biāo)氣體檢測(cè)用的微型化、集成化、智能化的新型氣敏傳感器,對(duì)目標(biāo)氣體進(jìn)行快速、可靠的檢測(cè)。這種傳感器成本低,并且可以在室

2、溫下工作。
  本論文針對(duì)SAW傳感器和三維納米線簇的各自特點(diǎn),對(duì)聲表面波器件進(jìn)行優(yōu)化設(shè)計(jì),在聲表面波器件敏感區(qū)上設(shè)計(jì)制備 ZnO三維納米線簇,并對(duì)納米線簇修飾改性設(shè)計(jì)一種全新的三維納米線簇結(jié)構(gòu)的SAW氣敏傳感器,開發(fā)了相關(guān)設(shè)計(jì)與檢測(cè)軟件。
  采用諧振器結(jié)構(gòu)的SAW傳感器,諧振單元在傳感器不同位置的敏感權(quán)重差異很大,需要兼顧Q值、插損與敏感區(qū)域與權(quán)重的關(guān)系。本論文在ADS軟件平臺(tái)上,建立了設(shè)計(jì)專用的設(shè)計(jì)仿真軟件,以優(yōu)化設(shè)計(jì)

3、結(jié)果結(jié)合Matlab軟件設(shè)計(jì)了SAW氣敏濾波器的叉指電極板圖,制備了SAW諧振器芯片。通過基片選擇,研究了三種工藝狀態(tài)下的器件頻率溫度特性,并以刻槽的方式配合溫度補(bǔ)償,有效提高了有載Q值與溫度特性。實(shí)現(xiàn)了工作頻率198.99MHz、插損-13dB、有載Q值7400的指標(biāo)。
  通過水熱法制備納米線簇,可以在具有光刻抗蝕劑模板的SAW器件基底上生長(zhǎng),而不會(huì)對(duì)SAW壓電基片叉指圖形產(chǎn)生影響。采用超支化聚合物來對(duì)納米線簇進(jìn)行修飾改性,用

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無(wú)特殊說明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請(qǐng)下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請(qǐng)聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁(yè)內(nèi)容里面會(huì)有圖紙預(yù)覽,若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
  • 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 眾賞文庫(kù)僅提供信息存儲(chǔ)空間,僅對(duì)用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理,對(duì)用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對(duì)任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
  • 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容,請(qǐng)與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時(shí)也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對(duì)自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

評(píng)論

0/150

提交評(píng)論