干式真空泵結(jié)構(gòu)設計及其轉(zhuǎn)子平衡分析與仿真.pdf

1、干式真空泵廣泛應用于航天、半導體、制藥、化工等行業(yè)。隨著我國工業(yè)化水平的不斷提高，航天、半導體等行業(yè)對真空泵的需求也逐步提高。但是目前常用的干式真空泵體積大，質(zhì)量重，而且轉(zhuǎn)子的平衡性不理想。鑒于此，本論文對一種爪式真空泵進行了整體結(jié)構(gòu)設計，并對核心部件—轉(zhuǎn)子進行了平衡分析。
　　 首先，論文闡述了真空、真空泵及干式真空泵的概念以及爪式真空泵的組成和工作原理，給出了國內(nèi)外有關真空泵研究的一些現(xiàn)狀以及發(fā)展趨勢。
　　 其次，

2、提出了整體設計方法，完成了真空泵的整體結(jié)構(gòu)設計。它主要包括泵殼的設計、轉(zhuǎn)子型線的設計和主動軸的設計校核。泵殼的設計主要是考慮盡量減少重量和保證殼體的壁厚。轉(zhuǎn)子型線是爪型轉(zhuǎn)子主要的工作曲線，本文將它分為六段曲線，分別對每一段曲線的設計做了說明。
　　 第三，進行了真空泵轉(zhuǎn)子的平衡分析。轉(zhuǎn)子平衡主要分為靜平衡和動平衡兩類。靜平衡主要研究了單個轉(zhuǎn)子，由于轉(zhuǎn)子形狀不規(guī)則，在計算不平衡量時采用了割補的思想，將轉(zhuǎn)子分割成五部分，每部分的都為

3、規(guī)則形狀，計算得出各部分產(chǎn)生的不平衡量。動平衡是針對三個轉(zhuǎn)子的情況，將每個轉(zhuǎn)子的不平衡量投影到兩個不同的平衡面上，這兩個平衡面選在軸承附近。兩個平衡面上計算得出總不平衡量，然后在適當?shù)奈恢眉由弦粋€配重。與以往通過在轉(zhuǎn)子上加配重來平衡的方法不同，本文通過計算不平衡量，在轉(zhuǎn)子本身特定位置去掉特定質(zhì)量，使轉(zhuǎn)子達到平衡。通過這種方法的改進和優(yōu)化，真空泵轉(zhuǎn)子的加工和裝配時間大大減小。
　　 最后利用Pro/Engineer和ADAMS仿真